计量器具校准佛山-计量单位

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

封测是封装和测试制程的合称，其中封装是为保护芯片不受环境因素的影响，而将晶圆代工厂商好的集成电路装配为芯片的过程，具有连接芯片内部和外部电路沟通的作用;测试环节的目的是检查出 芯片。作为半导体核心产业链上重要的一环，封测虽在摩尔定律驱动行业发展的时代地位上不及设计和，但随着“超越摩尔时代”概念的提出和到来，先进封装成为了延续摩尔定律的关键，在产业链上的重要性日渐提升。既然先进封装将成为行业未来发展的关键推动力之一，那么我们就有必要对封装产业尤其是国内的封装产业进行一个大致的了解，以便窥探产业未来发展趋势。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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来到健身房，教练首先让他握住一个小仪器，说是要测量体内脂肪含量。王先生使用的体脂仪类似一个秒表，使用时，只需用手握住，就能测出具体数值。对此，他有些疑惑：“这么一个东西，能准确测出来吗？”记者注意到，市面上出的体脂仪大部分利用的是人体阻抗原理测脂肪比例，这种方法的专业术语叫“BIA”，其原理是脂肪组织因水分含量低而不导电，肌肉等细胞组织因含水量高而导电性能好，由此根据人体的电阻抗推定脂肪和其他组织的比例。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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中的成分非常复杂,以往常用的薄层色谱等方法因其精密度、准确度、灵敏度、重现性差而不能满足现代中的需要。液相色谱正是以其稳定、可靠、的特点成为中研究的 重要的分析方法。目前液相色谱已经广泛应用于生物碱、皂苷、黄酮、蒽醌、香豆素等各种中有效成分的测定。近年来对液相色谱监测中的研究非常多,由于液相色谱集经典液相色谱和气相色谱的优势于一身,无论柱效、选择性还是分析程度都达到或超过了它们,近年来对液相色谱的不足之处进行了,使这项技术日臻完善。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

计量器具校准佛山-计量单位由Eq.1可以看出，试件表面的温度响应与试件厚度L有关。当脉冲线热源激励在薄板上时，由于盲孔缺陷处的L值减小，盲孔缺陷处表面温度的幅值会增大，且根据matlab模拟得出结论，温度的衰减也会慢于正常区域。进行Abaqus模拟后，得出结论：当线热源扫描至缺陷位置时，在缺陷处温度突然升高，高于无缺陷处的位置；当线热源扫描过缺陷后，在缺陷处的热图像上发生明显高温处的温度拖拽现象。针对在粗扫检测阶段发现的排除噪音后温度疑似缺陷的微区域，在细扫描阶段的检测原理中，在该微区域内进行提高功率的快速细扫描，将快速扫描的线激光近似看作为面激光脉冲加热。