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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

传统AOI依靠对像素网格值进行分析来确认线路板上元件的位置，这种方法又称为灰度相关法，它将元件灰度模型或参考图与板上实际元件相比较，一旦选准要搜索的模型，图像系统就通过计算像素数目找寻一个与之匹配的元件，如果找到了，元件的位置也就知道了。由于系统不断会检测到一些新元件，因此为适应这些新的元件形状参考图形可能经常发生变化。当元件相对参考模型旋转了一个角度或者大小不太一致时，像素网格分析方法就会出问题。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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在OCP(OPP)测试模式下，电子负载按照始值拉载工作，每隔一定时间电流(功率)按照步进值递增，同时检测负载输入电压，判断OCP(OPP)是否发生。如果负载输入电压高于触发电压，表明OCP(OPP)未发生，则继续电流(功率)步进操作，直到运行到结束电流(功率)为止。如果负载输入电压低于触发电压，表明OCP(OPP)已经发生。然后检查当前的电流值是否在设定的电流(功率)的高低规格内，若在范围内就显示GO(测试通过)，否则显示NG(测试未通过)。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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在气候环境变化方面，往往会根据常年情况进行预测，但现实情况是常常会与预测发生很大偏差。但人们期待着，如果通过长期固定式摄像头，能够实时且定期地同时采集到温度数据、热成像以及可视图像的话，则今后就有可能实现更加有的放矢，即以完全顺应环境变化的形式、根据不同环境情况来施投肥料或养分。决定大米等级命运的育种工作日本在农业方面，虽然如上所述存在着后继无人的现象，但与之相反的是，农作物的品种改良（=育种）却非常盛行，这其中大米的品种每年都在不断增加。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器外校雅安-报价多少在进行小批量设备或工业自动化测试时（，产品在出厂前需要某些性能检测），往往意味着对大量重复性指标的测试。市面上大多数台式数字示波器都拥有的Pass/Fail功能可以很轻易地完成这项工作，它可以自动捕捉到不符合设定要求的异常信号，把工程师从观察大量信号的过程中解放出来，令工程师更地完成测试工作。那么怎么用示波器来实现Pass/Fail测试呢？下面我们将给出详细的测试步骤以供参考。本例采用鼎阳科技SDG2000X信号发生器和SDS1000X-E/SDS2000X数字示波器来模拟Pass/Fail功能的实际运用。