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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

目前，包括床暗器的研究、设计、试制、生产检测与应用等诸项内容在内的传感器技术，已逐渐形成了一门相对独立的专门学科。一般情况下，由于传感器设置的场所并非理想，在温度、湿度、压力等效应的综合影响下，可引起传感器零点漂移和灵敏度的变化，已成为使用中的严重问题。虽然人们在传感器过程中，采取了温度补偿及密封防潮的措施，但它与应变片、粘帖胶本身的高兴能化、粘帖技术的和熟练、性体材料的选择及冷、热工艺的制定均有密切的关系，哪一方面都不能忽视，都需精心设计和。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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同时，边缘计算使得运营商和第三方服务能够靠近终端用户接入点，实现超低时延服务，为了满足这些时间敏感服务的低延迟要求，部分5G核心网的功能被放入边缘计算。由于MEC承担了5G核心网的部分功能，因此MEC与5G核心网之间的连接将是一个网状网连接。5G承载网络的整体架构如所示。5G承载网络架构的变化在网络向5G演进的同时，局端机房重构也在进行。本地网内传统的局端机房逐步改造为属地化的边缘数据中心。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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另外一种常见于ARM芯片，我们知道ARM芯片采用统一的编程接口SWD接口，某些ARM芯片会两个AP(AccessPort)，通过关闭访问内部空间的AP可以达到加密的目的。而如果想解锁，就要访问另一条AP，这条AP只可以访问一个寄存器，通过写入该寄存器特定的数据就可以将芯片重置为默认状态。还有一种加密方式和上面类似，只不过采用了两个编程接口，而不是同一编程接口的两条AP。总之， 加密就是让你无法读取芯片数据，而又可以通过擦除再次升级固件。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试设备校准-CNAS检测公司温湿度传感器是一种常用的测量仪器，可以将感受到的温度和湿度量转换为容易被测量的号输出，在多个行业中都有一定的应用。温湿度传感器的测量方法是什么呢?温湿度传感器的测量方法常见的湿度测量方法有：动态法(双压法、双温法、分流法)，静态法(饱和盐法、硫酸法)，露点法，干湿球法和形形 的电子式传感器法。这里双压法、双温法是基于热力学P、V、T平衡原理，平衡时间较长，分流法是基于湿气和干空气的混合。