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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

为增大仪器可测量的范围（动态范围），绝大多数测量仪器都会设置多个量程，以满足不同情况下测量不同大小信号的需求。当使用大量程测试小信号时会有什么结果呢？很多人回答会造成误差增大，但往往说不上来原因，今天我们将会带大家深入讨论一下这样使用带来的影响和原因。许多人认为大量程可测量的范围很大，大小信号都可以兼顾，因此在很多情况下都优先选择较大的量程进行测量，或者不注意选择，直接默认设置，如此使用时，仪器测量的值依然能正常显示，看起来数值也似乎还算准确。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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全新FlukeTi45SF6气体检漏热像仪集高质量红外热像仪与SF6气体检漏仪于一身，在无需关断设备的情况下即可清晰看到SF6泄漏点。Ti45SF6可作为高压电气人员的日常维护工具，使其能够随时、随地进行红外温度场和气体泄露检查，再也不必等到年度或两年一次的泄漏检查和昂贵的设备租借或外包费用，所以能够根据需要进行维护，降低设备损坏隐患。 (SF6)因优良的灭弧特性，被广泛应用于高压电气设备绝缘；又因其是极强的温室气体需要实时监控并检测泄漏的情况。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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D类放大器（数字音频功率）是一种将输入模拟音频信号或PCM数字信息变换成PWM（脉冲宽度调制）或PDM（脉冲密度调制）的脉冲信号，然后用PWM的脉冲信号去控制大功率关器件通/断音频功率放大器。D类放大或数字式放大器，是利用极高频率的转换关电路来放大音频信号的，经常被用于率的音频放大器中。在高保真音响设备和更 的家庭设备中，往往需要几十瓦甚至几百瓦的音频功率，这时，低失真、率的音频放大器就显得颇为重要，本文从实用角度出发，设计了一款低失真、率的音频放大器，与传统放大器相比，本放大器在效率、体积以及功率消耗方 有明显的优势，它产生的热量小且为传统放大器的一半，其效率在78%以上，而传统的放大器效率仅在50%左右。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

检测设备外校百色-CNAS认证机构在国外，机器视觉的应用普及主要体现在半导体及电子行业，其中大概4-5%都集中在半导体行业。具体如：PCB印刷电路：各类生产印刷电路板技术、设备；单、双面、多层线路板，覆铜板及所需的材料及辅料；辅助设施以及耗材、油墨、水剂、配件；电子封装技术与设备；丝网印刷设备及丝网周边材料等。SMT表面贴装：SMT工艺与设备、焊接设备、测试仪器、返修设备及各种辅助工具及配件、SMT材料、贴片剂、胶粘剂、焊剂、焊料及防氧化油、焊膏、清洗剂等；再流焊机、波峰焊机及自动化生产线设备。