计量器具校正青海-外校单位

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

每cfm逃逸气体相当于大约每年损失1,6美元，因此7.85cfm意味着每年损失超过12,5美元。虽然这些数据表明的回报来自检测和修复泄漏，但是值得注意的是，按体积计算，大量的小型泄漏大致相当于较小数量的大型泄漏，两者各自占气体损失的大约27%，而中型泄漏占45%。检测发现每处设施平均有19处泄漏，每次检测平均发现9次泄漏。每处设施的平均总泄漏率为2.4cfm。显著节省成本经济效益是显而易见的。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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电源选型任何对元器件、电路板、模块或设备进行测试时都需要使用一个或多个直流电源来给被测物和测试激励源供电；除了给被测物供电外，这些电源有时也可通过模拟被测物工作环境来测试激励。比如，多范围的充电机，可以充电12VDC或者24VDC电池组，充电电压会达到28.8VDC左右；针对电子产品，常规测试项目都会包含对产品进行OVP测试，OVP测试所采用的电压通常都会比额定工作电压高1%甚至2%；针对采用额定12VDC电压的汽车电路，但输入电压仍可能高达27VDC，某些汽车标准要求用27VDC的电压对正常工作电压为12VDC的装置进行极限测试。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

计量器具校正青海-外校单位气动测量技术可用于机械过程中的自动测量，也可以对后的工件进行长度、形状、位置尺寸的测量。具有测量精度高、灵敏度高、可靠性好、使用寿命长、操作方便、可以实现非接触及远距离测量、便于在过程中实现自动测量控制等优点。气电组合测量技术使气动测量技术和电子放大数字显示技术结合起来，把测量精度和测量可靠性又向前推进了一步。浮标式气动量仪的运用气动量仪 为常见的形式是浮标气动量仪。这种量仪结构简单，使用维修方便，价格较低。