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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

，尽管电源管理技术的进步使得充电时间得以大幅减少，但仍然比传统加油站要长得多。虽然充电基础设施正在快速扩张，尤其是像大众汽车这样的公司在美国投资20亿美元用于清洁汽车基础设施，这也是其为柴油机排放丑闻的努力之一。但许多公司正在寻找其他方式，能够更便利地对车辆进行充电。其中一个正在讨论和评估中的关键技术是无线充电，特别是 终能够动态地为车辆充电。虽然许多人视无线充电为新技术，但其实它已有百年历史。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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汽车电子技术起源于上世纪90年代，而随着汽车电子化的方便、舒适性等特点逐渐显现，该技术被迅速普及于汽车的各个部分。从广义上看，汽车电子包括基础元器件、电子零部件、车载电子整机、机电一体化的电子控制系统(ECU)、整车分布式电子控制系统及与汽车电子有关的车外电子系统等软硬件部分。从发动机到车窗，从安全气囊的控制装置到刹车系统，都有电子设备的身影。汽车电子化被认为是汽车技术发展史上的一次。电子化程度则被认为是衡量汽车技术发展程度的重要标志之一。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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点测温与区域测温测量一个区域内的温度，而非逐个点、逐个点的进行测温，可以帮助研究人员和工程师对其正在测试的系统出更好的知情决策。由于热电偶和热敏电阻都需要通过接触才能进行测温，因此它们只能一次一个位置的温度数据。而且，小的测试目标一次只能少数热电偶。贴在其上，实际上热电偶会散热，而可能改变温度读数。传统热电偶的热图像非接触式的测温可能采用点温仪（也称为红外测温仪），但如同热电偶一样，点温仪只能测量单点的温度。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器计量黑龙江-报价多少放大器和滤波器是音频设备中两个基本功能模块，所以测试设备的放大性能和滤波性能必不可少。需要有一套能为放大、滤波性能测试标准测试源的音频测试信号源。设计和一套供音频设备测(放大器和滤波器)的高性能音频信号源有重要的工程意义和实用价值。通常放大器的测试源用的是单频的不同幅度的正弦信号作为激励源——小幅度信号用于测试放大器的灵敏度，大信号用于测试放大器对大信号的承受能力，大的动态范围用于表征放大器具有很强的对信号大小的适应能力;滤波性能的测试通常是采用不同频率的等幅正弦波作为激励源，以用于测试电路对不同频率信号的加权能力——频率响应。