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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

将对社区人民的犯罪扼杀在萌芽状态。重要设施、地点安防监控。红外安防监控是以物体表面温度被动成像的系统，在夜间可以作为重要设施、重点部门、建筑、地点现场夜视监控使用。银行、监狱、、学校、车站、公园等等。特别是银行、监狱等地方，一旦别有用心的犯罪分子进行犯罪活动，往往会特意绕补光的监控设备进行破坏活动。红外热像仪是被动成像，不需要任何补光设备都能正常成像，可以隐蔽在暗中发现犯罪活动。 巡逻及犯罪。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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实时频谱分析功能界面显示其中，荧光频谱图是基于频谱统计的二维图谱。在荧光频谱图中，横轴代表频率，纵轴代表幅度，像素点的色彩代表该频率点的幅度统计次数，如所示。通过荧光频谱图和无缝瀑布图对实现信号实现无丢失显示，实时频谱分析功能可以发现瞬态信号并显示信号的实时变化。荧光频谱原理示意图荧光频谱图的应用荧光频谱将一段时间内所统计的各个频率及相应幅度出现的次数转化为颜色，通过颜色揭示信号的概率。一般而言，荧光频谱图默认设置能够满足绝大数的信号显示要求。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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电流卡环是将线圈绕组绕制在导磁率较高的磁性材料上,当被测电流较大时,存在磁饱和问题。为了进行测量，需要偶尔对探头进行消磁，并在消磁后补偿探头上保留的任何直流偏移。现在常见的技术是混合交流/直流电流探头，在一个探头内整合了用于测量直流和低频的霍尔效应传感器元件以及测量交流的电流互感器。霍尔效应传感器类型电流互感器类型混合霍 混合交流/直流型，可以测量直流/交流电流，测量模拟带宽50MHz，测量精度可达1%。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

计量器具校正鹤壁-校验公司在本文中，我们将回顾以前发布的技术，这些技术通过偏移LO频率并以数字方式补偿此偏移，强制杂散信号去相关。已知杂散去相关方法在相控阵中，用于强制杂散去相关的各种方法问世已有些时日。已知的份文献1可以追溯到2002年，该文描述了用于确保接收器杂散不相关的一种通用方法。在这种方法中，先以已知方式，修改从接收器到接收器的信号。然后，接收器的非线性分量使信号失真。在接收器输出端，将刚才在接收器中引入的修改反转。