量具检验乐山-审厂

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

浪费会快速累积，甚至造成停工。空气浪费带来的高成本根据美国能源部的数据，压缩空气管道中单个1/8”(3mm)泄漏点每年的成本超过2,5美元。据美国能源部估算，对于美国国内维护不善的普通工厂，泄漏造成的浪费可达到其压缩空气总量的2%。为了弥补泄漏引起的压力损失，工厂往往通过购容量大于实际需求的压缩机进行补偿，这就需要大量的资本成本，且增加能源成本。除了成本的考虑外，空气泄漏还会引起资本支出、返工、停工或质量问题，以及维护成本增大。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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不确定性是始终存在的，对误差来源的评估可以帮助确定测量的不确定度。除上述外，还有一些相关术语在依据美国 标准与技术研究所（NIST）或其它标准机构的说明文件来描绘性能时会有用。可描述性是保证所有的测量器件有一个共同的基准所必须的。所谓“规范”是指保证性能由校准溯源到NIST的测试设备产生。“典型”往往意味着性能是 测试，但不包括测量不确定因素。“象征性”的表现通常是补充信息，不是在每个仪器上的普遍测量。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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数字示波器的带宽越高，信号的上升沿越陡，显示的高频分量成分越多，再现的信号越准确。实际应用中考虑到价格因素（数字示波器带宽越高价格越贵），经过实践经验的积累，我们发现只要数字示波器带宽为被测信号频率的3-5倍，即可获得±3%到±2%的精度，满足一般的测试需求。频率响应曲线同一阶跃信号基于不同带宽数字示波器的测量结果上升时间上升时间的定义为脉冲幅度从10％上升到90％的这段时间（如所示），它反映了数字示波器垂直系统的瞬态特性。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

量具检验乐山-审厂 检测时只需要一台电子天平对翡翠进行称重，经过计算得到实际的密度，与相对 ，与其他矿物可以进行区分。折射仪那么翡翠的透明度又要如何进行科学测定呢？一般翡翠都是呈现半透明至不透明的状态，极少数是透明的，通过肉眼就可以观察到这些。根据《翡翠透明度测量和分级》，可以通过检测透过率对翡翠的透明度进行分级。在没有宝石显微镜的情况下，鉴定人员可使用聚光手电、放大镜观察到翡翠的透明度。