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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

PID修复装置与逆变器直流输入并联，在光伏组件的负级和地之间施加一个高电压，并且支持输出固定电压和输出智能调节的电压。在夜间，它能把光伏组件在白天因为负极与地之间的负偏压所积累下来的电荷释放掉，持续运转，PID－BOX将会修复那些因为PID效应导致效率衰减的电池组件。PID修复装置（PID－BOX）接线示意图其实光伏组件漏电流的大小影响着衰减现象，监控组件实时漏电流的大小，能够有效反映出组件衰减程度并以此调节。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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光纤光栅传感器可以检测的建筑结构之一为桥梁。应用时，一组光纤光栅被粘于桥梁复合筋的表面，或在梁的表面一个小凹槽，使光栅的裸纤芯部分嵌进凹槽中。如果需要更加完善的保护，则是在建造桥时把光栅埋进复合筋。同时，为了修正温度效应引起的应变，可使用应力和温度分的传感臂，并在每一个梁上均这两个臂。两个具有相同中心波长的光纤光栅代替法布里－珀罗干涉仪的反射镜，形成全光纤法布里－珀罗干涉仪(FFPI)，利用低相干性使干涉的相位噪声化，这一方法实现了高灵敏度的动态应变测量。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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KiRoadWirelessP1车载电子单元和RoaDynP109车轮扭矩传感器为未来配备DTI技术KiRoadWirelessP1系统的另一个优点是：将系统与新DTI 组合使用，只需一根导线就可将车载电子单元与数据采集单元连接起来。更重要的是，奇石乐DTI技术能确保测试快速。现在只需要一根导线就可以实现传感器配置、测量数据传输和同步以及供电。借助TEDS自动识别传感器，使配置更加简单。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器外校蚌埠-检测单位动的热能量表示为(单位：W/m2)。温度体现结果，热流体现过程。使用热电偶和温度记录法仅能测量温度，对于温度的变化过程(正在发热或正在吸热)却全然不知。使用“热流传感器”，将热能量的和量可视化，可作为温度变化的先行指标。测量热能，对于更高精度的空调控制或针对产品研发的热能策略具有重大意义。与传统的温度记录相比，除了了解温度的变化的情况之外，通过“热流”测量还能掌握引起温度变化的原因。所以，LR8432 适用于分析温度变化的原因，从而具化到评估隔热性能等实际生活，生产之中。