工程类实验室江西-验厂

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

GENNECTCross智能手机、平板设备 的免费应用软件特点1：测量数据自动发送至智能手机或平板设备中，提高反复进行测量和记录的工作效率。使用GENNECTCross的话，仅需将探头接触被测物，即可将数据传输至智能手机中。当测量值稳定时自动保存，实时显示合格情况，是否需要更换电池也一目了然。值得一提的是，即使在现场也能简单的报告。特点2：在现场迅速确认波形情况，出现问题时及时分析原因。*根据测试仪的不同，能使用的功能也有不同。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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我们在使用铜合金检测仪器的过程中，所测结果误差大或者根本不出结果，在排除仪器本身问题的情况下，往往容易出现的问题就是化学试剂的问题，那么我们就来谈谈化学试剂到底要注意哪些问题。试剂瓶上均应贴上标签，标明试剂的名称、浓度、配制日期，并在标签外面涂上一层薄蜡。在工作中要注意保护试剂瓶的标签，使之完整无缺，若一旦丢失，应及时补贴；分装试剂时，固体试剂应装在易于拿取的广口瓶中，液体试剂应盛放在容易倒取的细口瓶或滴瓶中，见光易的试剂如银等应装在棕色试剂瓶中，并保存于暗处;盛放碱液的试剂瓶要用橡皮塞；熟悉常用金属元素分析仪化学试剂的性质，如市酸碱的浓度、试剂的溶解性、 的沸点、试剂的性及化学性质等取用试剂前，应看清标签。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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在数控机床中，采用 永磁交流伺服代替异步变频驱动似乎已成为标准。年代以来，欧美各国致力发应用高速数控机床，在相同分辨率的情况下，工作台的进给速度获得到大大提升。当今数控系统机床更是突出高速、高精度、高动态、高刚性的特点。我们已经看到国产伺服在经济型的数控机床上的应用，但在中 机床上国产伺服仍达不到要求，性能是一个重要方面，稳定性和品牌效应也是短时间内无法跨越的障碍。机器人也是伺服系统应用较多的领域，工业机器人拥有多个自由度，因此每台工业机器人需要的伺服电机少则3-4台，多则1台以上。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

工程类实验室江西-验厂 ?具有较强的抗干扰能力，对环境条件的要求不像激光干涉传感器那样严格，但不如感应同步器和磁栅式传感器的适应性强，油污和灰尘会影响它的可靠性。主要适用于实验室条件下工作，也可在环境较好的车间中使用。?高精度光栅的成本高。光栅式传感器在几何量测量领域中多用于测量长度（或直线位移）和角度（或角位移）。具体应用有如下几个方面：?长度和角度的精密计量仪器。如线值计量的工具显微镜、测长仪、比长仪，以及三坐标测量机等；角度计量的分度头、圆转台，以及度盘检验仪等。