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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

了解电磁干扰的产生原因是电磁干扰，提高电子产品电磁兼容性的重要前提。电磁干扰的产生可以分为：1.内部干扰内部电子元件之间的相互干扰工作电源通过线路的分布电源和绝缘电阻产生漏电造成的干扰。信号通过地线、电源和传输导线的阻抗互相耦合，或导线之间的互感造成的影响。设备或系统内部某些元件发热，影响元件本身及其他元件的稳定性造成的干扰。大功率和高点压部件产生的磁场、电场通过耦合影响其他部件造成的干扰。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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如欠压测试项目（V＜5%V标称），电压从标称电压下降至标称电压的5%以下，需要时间是1mS。即可在全天科技可编程交流电源中List模式中设置（如下图）V（acstart）=22V,V（acen=19V，Time=1mS；编辑电压变化步骤后保存，触发启动List程序，可编程交流电源自动执行输出。过欠频测试项目测试逆变器在规定的频率范围内（电压正常的情况下）是否可以正常工作；在规定的频率范围段，逆变器正常运行规定的时间后，停止并网供电；在规定的频率范围外则认为电网频率异常，并网逆变器停止工作。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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屏蔽效能检测系统检测频率范围10kHz-40GHz，测量动态范围大于130dB；检测能力优于120dB 规定的A级、B级、C级、D级屏蔽体屏蔽效能曲线，屏蔽效能曲线编辑功能。全频点频列表与1-18GHz扫频测试系统具备全频段列表扫描功能和1-18GHz频段的扫频测试功能，能更好的满足用户对屏蔽体进行全频段测试的需求。屏蔽效能符合性自动判别和自动报表具备自动测试功能；检测结果以及符合性判定以图、表方式直接给出，可直接生成报表或打印输出。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器计量毕节-外校单位消防领域为什么要用红外热像仪红外热像仪以温度场红外成像测温为基础，是目前预知性维护的高技术领域，也是消防灾害的有效、高速手段。是各行各业在应对 火灾、燃爆的重要手段。消防用的红外热像仪，它的主要作用是帮助我们的消防员，在浓烟或者漆黑的环境下，能够看清火场中的环境，对火势出迅速的判断，营救遇险人员。在火场中由于有浓烟的存在，我们用人眼是看不到很多东西的。浓烟可以说比雾霾更浓重几十倍、几百倍。