测试仪表校正六盘水-校准单位

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

ROADM技术在欧美运营商及企业客户中已经成熟商用多年，近几年国内运营商始进行ROADM的现网实验和商用部署。1ROADM的可重构性的发展1.1第1代ROADM2维度可重构架构2001始 实现商业化的ROADM技术是波长阻断器（WB）技术，其工作原理如所示，通过分光器把所有波长信号都按功率分为2束，一束经过WB模块，另一束则传到下行滤波器，将选定的信号在本地下路，实现波长选收。技术已经很成熟，在上/下路波长数目不多时，其具有结构简单、成本低、模块化程度高等优点。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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测试时，探针压在PCB表面的待测点，然后通电测试每个网点的通断，并报告存在的短路和断路缺陷。其局限在于只能检测短路和断路两种缺陷，缺口、 和残留铜等其它缺陷都无法检测。针床夹具的成本过高，小批量生产不合适；但是随着电子向更高密度、更小尺寸、更复杂的PCB混合技术的纵深发展，仅依靠人眼检测或电测试印制电路板的质量无法满足品质要求。为提高产品质量，减少进入下步工序的有缺陷电路板的数量，对PCB检测中的关键设备----自动光学检测(AOI)系统的需求也越来越大。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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4151调制域分析仪精密时间间隔测量广泛应用于 、雷达、激光测距、粒子物理实验、计量及测试等领域，随着人们对测距精度、粒子质量鉴别精度和时间计量精度的要求不断提升，皮秒级时间分辨率的测试应用越来越多。目前国外成熟产品的时间测量分辨率为2ps，标准方差为36ps左右，国内中电科仪器仪表公司推出的4151调制域分析仪时间测量分辨率可达5ps，标准方差为86ps左右，综合性能到达了先进水平，能够满足目前绝大数情况对精密时间的测试需求。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试仪表校正六盘水-校准单位挑战某山西 气污染物排放标准》中指出，所有大气污染物浓度均为标准状态下干烟气的数值即温度为273K，压力为11325Pa时的浓度，并以mg/m3作为单位，新建燃煤燃油锅炉SO2以及氮氧化物NOX的排放限制一般都在1mg/m3。但是客户提出，德图烟气分析仪testo35使用的单位都是ppm，即为体积比浓度，那如何和国标进行配合。解决方案德图烟气分析仪testo34/35进入国内市场十余载，根据国内的客户需求一直在不同的，根据上述提出的问题，德图在进入国内市场的时候就已经将这个问题考虑在内，德图烟气分析仪不仅有ppm体积比浓度，也有mg/m3质量比浓度，但是在标准中要求，因锅炉运行时，效率不同，可以根据氧含量来权衡锅炉情况，所以需要将实际氧含量运行情况下的污染物浓度换算到基准氧含量情况下的污染物浓度。