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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

新标准只是将行业更加规范化，标准化和统一化，但这主要是针对户外设备系统，即充电桩接口等方面，没有对电能质量一个要求，所以充电桩行业常常遗漏了电能质量方面的问题，比如常见的不平衡、闪变、波动、谐波等，但谐波污染首当其中。谐波污染汽车蓄电池成产过程中一般采用可控硅构成的三相桥式整流装置作为化成设备，但这些设备对电网造成了大功率电力电子非线性负载，从而引发电网产生大量的谐波污染。谐波问题对充电行业谐波危害更为直接：对于电力系统外部，谐波对通信设备和电子设备会产生严重干扰，特别容易造成费用计算错误，导致费用偏离实际。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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现代汽车汽车四轮——随着电子技术的发展和应用，汽车的安全性、舒适性和智能性越来越高。汽车侧向倾斜角度传感器的应用是防止汽车在行驶中发生倾翻事故的一种有效方法。是提高汽车安全性的重要措施，特别是越野车。双层客车等重心较高的汽车更有必要性。汽车倾翻的实质是：行驶中向外的倾翻力矩大于向里的稳定力矩，当重心高度一定时，倾斜力矩油倾翻力(向外的侧向力)决定。机器人机器人——近年来机器人技术发展很快，欧美等工业发达 早就始对各种机器人进行系统的研究，随着科技的进步和时间的推移，取得了大量的研究成果。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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对有源天线阵列进行校准需要很长的生产测试时间。大型阵列可能包含成百上千个阵元，有必要通过表征这些阵元间的相位和增益关系，以确保精密的波束赋形。而且，进行阵元调整所需的测试时间会随着阵元数量的增加而大幅增长。使用多个相参测量通道能够有效地缩短测试时间。现在通常使用一台多端口网络分析仪在天线上执行相对增益和相位测量，一般是通过关矩阵对所有的天线端口或通道执行这种测量。这会产生很长的测试时间，尤其是对包含成百上千阵元的阵列。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

量器具校验恩施-电话犯罪分子主要是在夜间或者有伪装的地点（如树林、草丛）实施犯罪活动。红外热像仪由于不受光照强度、烟雾、草丛等因素的影响，因此在犯罪方面效果非常显著。消防灭火现场指挥与人员拯救。火灾现场往往是浓烟密布，情况复杂，仅靠肉眼进行观察和搜救，不可能清晰地观察情况，更会延误抢救时机。应用消防型红外热像仪，可轻松穿透浓烟，清晰地看清火场状况，发现着火点和燃烧物，及时搜救遇险人员，提高被困人员生还率。另外，消防队员还可以应用红外热像仪，观察到房门、窗户、屋顶的温度，从而判断室内温度高低，避免由于家具受热挥发出的可燃气体聚集因突然门而产生的闪燃，以避免消防人员自身伤亡。