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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

为什么差距会这么大？我们到底改了什么？下面我们详细分析。首先，可以从张图中看到，PA31的“保持”指示灯亮着，此时打了保持功能，也就是说仪器上显示的数据是值，而不是实时数据。其次在第二排电流显示窗口，没有看到电流值，而在第三排功率显示窗口中却有功率数据，由此可知电流量程选择太大，这样会给测量带入更大的量程误差。除了仪器本身的设置对测试结果会造成影响外， 重要的还是接线方式。我们知道测试待机功率时，电流值非常小，所以功率很小。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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总体来说，它非常适合大中城市中等运量交通发展的要求，值得在广泛推广采用。直线电机的普遍适用情况如下：1）综合造价比较低，可以在很多想要建设地铁而又资金不足的城市进行推广；中运量、小编组，适用于中等城市；良好的选线性能，非常适用于地形条件比较复杂的城市；可以穿越既有线路，避城市建筑物，可作为线网中的支线或加密线；低噪声、低振动，可以修建在一些城市中心区，既疏散客流又作为城市景观线；在 天气条件下可以安全行驶，适合在雨雪较多的城市修建高架轨道交通系统。直线电机的工作原理通常，电动机是旋转型的。定子包围着圆筒形的转子，定子形成磁场，在转子中流过电流，使转子产生旋转力矩。而直线电机则是将两个圆筒形部件展成平板状，面对面，定子在相应于转子的长度方向上延长，转子通过一定的方式被支承起来，并保持稳定，形成转子和定子之间的空隙。直流电机、感应电机、同步电机等都可成直线电机，直流电机在结构上无法成无整流子型，所以，直线电机一般为感应电动机和同步电动机。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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四路测径仪相邻测头间的夹角为45°，四路双测头在轧材每个测量截面可测得均布的四个直径尺寸。LPBJ15.12型测径仪的本体为测量车的结构形式，下部为车体。测径仪的主盘部件、过钢部件、外壳部件等均在车体上。蓝鹏测径仪的车体为厚钢板拼焊而成，车体上装有4个车轮可在轨道上以便进行下线维护、检修操作。车体部件带有高度调节功能，调节范围为6mm。高度调节采用梯形丝杠传动带动轮轴沿车体上的导向槽张或闭合实现，丝杠头部装有涡轮减速机、电机和监测丝杠旋转圈数的旋转编码器。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

轻工实验室重庆-电话在测试项目中还新增了恒功率充电测试和功率自动分配试验，并给出了这2种报告对应的实验方法。艾德克斯IT89高性能大功率可编程直流电子负载电压范围为15V/6V/12V,支持CV模式主从并联，可 对接测试需求容量，功率可达6KW，可满足充电桩参数要求。直流充电桩通常采用模块化设计，市面上常见15kW，2kW充电模块，在直流充电桩厂商中既需要对充电模块进行测试，也需要对整桩进行测试。