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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

如果一定要搬动，切记先切断电源后稍等片刻再搬动；避免阳光直射显示屏：阳光曝晒，不仅影响观察，而且还会使液晶屏老化，发光率下降，寿命缩短，平时放置时用深色布罩套住；尽量减少关次数：仪器每一次机，会受到一次瞬间大电流冲击，另外，由于电路上使用了一些感性与容性元器件，机瞬间产生过压、过流现象，容易损坏元器件，有些故障往往就是关机瞬间出现的；注意发现机器有故障时应立即关机：如在使用过程中出现冒烟、有焦味或光栅异常都应该立即关机，请专业人员检修以免造成更大损失；定期擦拭仪器外壁;要注意防止潮湿侵蚀：潮湿不仅会降低高压部件绝缘性能，引起打火、散热等 现象，而且金属印刷铜箔和元器件引脚容易受到腐蚀和损坏。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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为安全起见，一般我们应当在可燃气体浓度在LEL的10%和20%时发出报，这里，10%LEL称。作告报，而20%LEL称作危险报。这也就是我们将可燃气体检测仪又称作LEL检测仪的原因。需要说明的是，LEL检测仪上显示的 不是可燃气体的浓度达到气体体积的 ，而是达到了LEL的 ，即相当于可燃气体的下限，如果是 ， LEL=4%体积浓度。在工作中，以LEL方式测量这些气体的检测仪是我们常见的催化燃烧式检测仪。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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每年都有新手机发布，大家都在追逐更高的手机性能，除了主CPU频率高以外，还需要关注GPU，同时RAM也要越大越好，存储芯片对手机速度的影响，大家又知道多少呢？手机普及，诺基亚无可替代20世纪90年代，风靡世界是 机型号，占领了当时80%手机市场。诺基亚手机里面集成了Intel的NorFlash芯片，他的 读取速度仅为5MB/S，这个速度，应付当年的手机游戏“贪吃蛇”的应用是足够了。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试设备校验福州-认证公司粒子加速装置中电磁场是利用低电压，高电流的直流电源驱动电磁线圈产生的。应用于粒子加速器中的电源需要具有高输出功率的同时，要具有极高的 度和稳定性。AMETEKSorensenSG系列直流电源输出功率覆盖4kW-15kW，电压1-1V,电流5-6A，多个型号满足不同电压电流的需求，输出 ，稳定度高达±.5%，并且SG系列直流电源具有多种通信接口，易于程控以实现变化的直流波形，波形和斜率均可设置，易于集成在大型系统内。