量具校验包头-校准单位

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

OTA测试可以将产品内部辐射干扰、产品结构、天线的因素、射频芯片收发算法等因素考虑进去，是非常接近产品实际使用场景的测试手段。我们以 早的3GUESISOOTA测试为例来了解OTA测试所需的 基本环境：吸波暗室，转盘（控制UE旋转）探头天线（在某一固置接收UE辐射信号）用于探头天线虚拟基站信号的无线测试（如KeysightUXM系列，图中未显示）测量过程中将通过旋转转台来控制并测量UE天线在不同方向的辐射特性。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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由于听到的只是信号的声音成分，而此类诊断的结果将非常严重。因为不能感觉到超声波范围内的细小变化，因此很容易被忽略。当感觉到轴承在可听音范围内状况 ，就必须立即更换。超声波了可预测的诊断能力，当在超声波范围内始出现变化时，仍有时间准备适当的维修。在泄漏探测领域，超声波了一个快速、准确地确定微小及大致泄漏的方法。由于超声波是一种短波信号，因此在泄漏部位感觉到的泄漏超声波声音也 清晰。在声音噪杂的工厂环境里，超声波的特性将使其更为有用。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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流量计测量精度低流量计在结构上，流量计包括三个单元：传感器单元、计量单元和通信单元。这些单元或功能块中的每一个都可以是机械式或电子式。住宅和工业应用中的流量计示例在大部分流量计的设计中，其活动部件都会使用机械感测。，使用电感电容器（LC）、巨磁电阻（GMR）、隧道式磁阻（TMR）或霍尔效应传感器捕获螺旋桨或叶轮的运动，该运动根据流量而变化，并被转换成数据并传递给测量单元。因为有活动部件，所以可能会出现磨损和不准确的情况。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

量具校验包头-校准单位下表是载波功率和相位噪声极限值的对应表。相位噪声的测量在频域中，常用的相位噪声测量方法主要有直接频谱分析仪法、相位检波器法、鉴频器法和双通道互相关法等。应该指出，在不同场合对相位噪声的要求不同，测量方法也有所不同。典型的相位噪声测量可以由专业相位噪声测试系统完成，但这些专业设备的价格相当昂贵，而频谱分析仪或者新一代的信号分析仪是相对常用的仪器，对一些相位噪声指标要求不是很严格的场合，可以用信号/频谱分析仪进行相位噪声指标的测量。