测试仪表校准内蒙古-计量单位

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

四线法：这是在三线法基础上的法。这种方法可以消除由于辅助地极接地电阻、测试引线及接触电阻引起的误差。仪器选择：目前市场支持此种方法的仪器比较多，其中以共立4105A-H接地电阻测试仪为代表。钳夹法：钳夹法分为单钳法和双钳法1双钳法:利用在变化磁场中的导体会产生感应电压的原理，用一个钳子通以变化的电流,从而产生交变的磁场,该磁场使得其内的导体产生一定的感应电压，用另一个钳子测量由此电压产生的感应电流, 用欧姆定律计算出环路电路值。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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为欧氏空间遥测的同相位系统实验室演示器建立数字控制系统，用于将遥测臂之间的光学路径差维持在10nm之内，这是确保有效 操作的必要条件。欧氏空间望远镜是为高分辨率光学检测而优化的干涉仪仪器，利用对成孔径技术对地理静态轨道进行检测。为了获得需要的同相位、所需的分辨率，就要使用复杂的计量和控制系统，以便确保光学配置具有必要的稳定性。集成了一个演示器（称为MIT，Michelson干涉仪测试台）用于对欧氏空间望远镜的两个关键系统进行验证，以便达到同相位条件，以及在Michelson干涉仪仪器中达到的稳定边缘图案样式。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试仪表校准内蒙古-计量单位CAN的协议结构中物理层、数据链路层已经由硬件实现，目前都已经标准化，有现成的部件(CAN控制器和收发器)选择。因此在单片机上加上CAN控制器、收发器，软件实现相应的驱动程序就基本实现了CAN的通讯功能。LIN（LocalInterconnectNetwork）总线：其易于实施、成本低、可应用在对实时性要求不高的场合。车灯、车门、座椅和雨刷之类的控制是其应用领域，它作为CAN网络的有效补偿，的优势在于成本低。