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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

电子行业 基础的测试测量设备——示波器，数年来也持续追求高带宽、高精度、多通道等技术。而随着外部接口信号速度的进一步提升，如USB3.0的传输速度可达5Gbps/s，USB3.1的传输速度可达10Gbps/s，以及电子产品的发展趋势如传统大大到智能手机的转变蕴含了从大而功能简单到紧凑而功能强大的发展思路，传统台式仪器的演变似乎也有了新的趋势，如近来泰克就发布了基于PC（USB）的频谱仪和网络分析仪。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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他通过FLIRONEPro，成功解决过多个小区地暖管道泄漏的问题，下面是他总结的检测地暖管道泄漏的一般步骤：1.关闭水路主阀门，之后分别对每个地暖环路依次进行打压试验，找出泄漏点所在的环路。加热经过打压试验初步判断存在漏点的一路盘管。尽量提高热源温度，以保证盘管迅速升温。加热的1-2分钟后，使用FLIRONEPro手机红外热像仪观察红外视角下整个盘管的走向，寻找异常发热点。地暖漏水常存在两个现象：漏水部位管道模糊扩散，存非线状，在红外图片中呈现一团热量；漏水位置温度较高，在红外图片中呈现白亮色。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

工程类实验室杭州-校验价格PA310进行了线路滤波器的设置，打了一个5.5KHz的线路滤波器，而后对比两台测试的功率因素，结果两台设备的功率因素确实一致，这也就证明了带宽确实是影响测试结果的重要因素。