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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

测试标准电源模块的 准适用于电气和电子设备在规定的工作状态下工作时，对由关或雷电作用所产生的有一定危害电平的浪涌电压的反应。该标准不对绝缘物耐高压的能力进行试验，也不考虑直击雷。该标准的试验等级分类如下：表1试验等级浪涌防护电路由于电源模块体积小，在EMC要求比较高的场合，需要增加额外的浪涌防护电路，以提升系统EMC性能，提高产品的可靠性。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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关于振动波形部分，因为车辆行驶过程中道路路面不平整，振动随机发生，因此随机波更能真实得反映路况，当然一些车厂会采用标准正弦波的振动波形实验。回到温度-振动试验的模拟加载脉冲电流部分，标准中给出规范：100mA/10ms---0A/190ms，一个周期为200ms。因为电流较小，且 短位置脉冲时间为10ms，因此普通的直流电源无法实现这样快速 的测试。艾德克斯IT6400系列电源在正负极短路状态下，可按照标准参数编辑：100mA/10ms---0A/190ms，轻松模拟振动测试，并可循环试验，测试波形如下。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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上一讲主要讲述了到底是哪些原因引发了T/R组件测试安全性问题，它涉及到操作人员、被测T/R组件、测试仪器、测试程序和测试数据等多方面的安全问题，那怎么实现安全性增长呢？加强操作人员的防护和被测组件的屏蔽隔离（铁布衫+罩）笔者经常在国内各大工院所中发现操作人员自身的防护观念较为淡漠，普遍嫌麻烦。在大功率测试环境下，操作人员应该佩戴防护 、眼镜和防辐射工作服。科研人员不是义和团，你以为自己不入呢？老老实实穿上铁布衫吧。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器外校漳州-检测单位B，速度。为了达到一定产量，完成生产任务，速度是考虑测试方案时 重要的要素之一。C，成本。任何时候，成本都是一个企业的一条重要生命线。在遥控器测试的技术要求中，中心频率、发射功率为核心数据，是基本上所有种类的遥控器都需要测试的项目，而频谱图和功能性测试在生产中一般二选一。测试数据的存储备份功能则通常是对品质要求较高和代工型企业所需求的。图二：某玩具遥控器测试现场在保证品质的情况下尽可能的提高测试速度是所有企业的共同需求，在这里可以通过两方面的手段来加快测试速度，提高生产效率：A，提高仪器本身的测试速度和便捷性。