计量器具校正永州-审厂

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

此类红外热像仪不需要制冷，且成本比量子探测器红外热像仪低。制冷型量子探测器采用锑化铟(InSb)、铟镓砷(InGaAs)或应变超晶格制成。这类探测器为光电探测器，即光子撞击像素点，转化为可存储于积分电容器的电子。像素采用的电子快门，通过断或短路积分电容器来控制快门。量子探测器在本质上比微测辐射热计的速度要快，主要原因是微测辐射热计必须要改变温度。与改变像素温度相反的是，量子探测器是将能量加到半导体中的电子里，提至高于进入导电带的探测器能量带隙，根据探测器的不同设计，可以测量为探测器电压或电流的变化。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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监测系统根据采集到的各个逆变器的发电量及辐照值计算得到该逆变器系统中所有逆变器的发电总量及辐照总值。更进一步地，所述的监测系统将采集到的不同时间段下所有逆变器的发电总量及辐照总值绘制在横轴为时间，且纵轴为发电总量及辐照总值的图表中，具体为：所述的监测系统将采集到的不同时间段下所有逆变器的发电总量及辐照总值绘制横轴为时间且纵轴为发电总量为柱状图，并在该柱状图上以相同的时间横轴为横轴，并以辐照总值为纵轴绘制折线图。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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深圳市港口货运发达，柴油车保有量较多，主要分布在货运物流等行业，是PM2.5的重要来源之一。根据215年4月深圳公布的大气PM2.5源解析结果：机动车尾气是深圳污染空气质量的首要污染源，约占41%。而在非道路方面：深圳市建筑工地6%柴油机为老旧柴油机，排气达到国Ⅱ标准的柴油机不到3%。环保部-深圳柴油机DPF改造项目本次DPF改造项目的全称为：深圳市柴油颗粒捕集器示范项目，由 环境保护部机动车排污监控中心牵头，在深圳市的泥头、邮政、环卫、货运等行业各选取2辆柴油车；在港口码头、施工工地选择4辆非道路机械进行示范改造。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

计量器具校正永州-审厂 为了将误差降低到，电阻模块应当有一个小的热电动势，并且使用误差较低的电流进行测量，以10mA的电流重复上述测量时可将误差降低到0.1%。使用四线制测量系统没有帮助，尽管它消除了引线电阻的影响。或者，如果热电动势的数据没有明显的时变时，你可以通过翻转DMM的极性并取两个读数的平均值来测量它们的影响。这样可以确认真正的阻值是多少，在应用电路中可能不会这样，但是用户应该了解。一些DMM在测量电阻时具有测量电压偏移的功能，这个可以用来补偿电阻测量，而不必逆转电流极性。