工程类实验室铜川-检测单位

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

无论石油资源即将枯竭是否是个伪命题，发展可再生能源、清洁能源都是 性共识。光伏产业曾因欧盟反倾销而遭受重创，但随着国内光伏装机容量的大幅增长而重现繁荣。截止216年底， 累计光伏量达35GW，累计光伏并网容量达77GW，光伏发电的新增和累计装机容量均为 ，本土成为光伏产业市场。企业如晶科、华为等在光伏组件及逆变器等关键设备领域的出货量也稳居 。“后补贴时代”，企业必须依靠技术进步降本增效，并拓展光伏发电应用场景。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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大家知道，充电桩是给电动汽车”加油”的充电设施，学名叫“非车载充电机”。充电桩又分为交流充电桩和直流充电桩，那么交流桩和直流桩又有什么不同呢？什么是充电桩充电桩其功能类似于加油站里面的加油机，可以固定在地面或墙壁，于公共建筑（公共楼宇、商场、公共停车场等）和居民小区停车场或充电站内，可以根据不同的电压等级为各种型号的电动汽车充电。充电桩的输入端与交流电网直接连接，输出端都装有充电插头用于为电动汽车充电。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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但设备较为笨重，携带、不方便、且测量易受到环境因素的影响。此外，钢弦式测量仪的调试时间较长，准备工作需要花较长时间，不适合快速测量;另外钢弦式测试仪重量、尺寸较大，后易对构件的工作状态和应力分布造成一定的影响，所以不适合测量较细的轴。光栅法轴功率测试方法光栅式轴功率测试由两个光电码盘、两个光电传感器、控制器组成，光电码盘由两个半圆环拼接而成，电传感器在固定的支架上，保证两个光电传感器与被测轴的轴心线在同一个平面上。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

工程类实验室铜川-检测单位空气中的水蒸汽吸附于感湿材料后，元件的阻抗、介质常数发生很大的变化，从而制成湿敏元件。各厂家的湿度传感器产品水平不一，质量价格都相差较大，用户如何选择性能价格比的理想产品确有一定难度，需要在这方面作深入的了解。湿度传感器具有如下特点：精度和长期稳定性湿度传感器的精度应达到±2%~±5%RH，达不到这个水平很难作为计量器具使用，湿度传感器要达到±2%~±3%RH的精度是比较困难的，通常产品中给出的特性是在常温（20℃±10℃）和洁净的气体中测量的。