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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

发热人群检疫。红外热像仪可以对机场、 、客运站、码头、展会等密集地方进行体温检测等等。红外热成像是非接触式测温，通过热像仪观察人群，就可以直接测量出人体额头等裸露部位的体温，避免医务人员与患者直接接触。同时，红外热像仪是对人群进行批量测温，不需要一人一人额头测温，大大提高了检测人群的流通能力。红外热像仪，其测温精度可达±.5℃。通过红外热成像及测温技术，对过往的人群进行温度筛查，进而加强安保工作，从而可以有效控制 ，防止 迅速扩散，保证地区人员安全。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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随着电子技术的发展，器件的噪声系数越来越低，放大器的动态范围也越来越大，增益也大有提高，使得电路系统的灵敏度和选择性以及线性度等主要技术指标都得到较好的解决。同时，随着技术的不断提高，对电路系统又提出了更高的要求，这就要求电路系统必须具有较低的相位噪声，在现代技术中，相位噪声已成为限制电路系统的主要因素。低相位噪声对于提高电路系统性能起到重要作用。相位噪声好坏对通讯系统有很大影响，尤其现代通讯系统中状态很多，频道又很密集，并且不断的变换，所以对相位噪声的要求也愈来愈高。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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本文包含了对欧氏空间望远镜的概述、MIT性能的简单描述以及完成的目标。欧氏空间望远镜欧氏空间望远镜等多孔径望远镜配置为达到大型孔径光学系统提出了一种独特的可行方法。发多个独立望远镜孔径的动机是为了从空间进行高分辨率的观测，避免在大型孔径（大重量）情况下以及使用自适应波前控制导致的局限性。多个望远镜光学镜片可以比单筒大型镜片直径缩小许多，这是在重量以及外形上的重要。带有Fizeau类型组合光学配置的Michelson干涉仪被选用实现孔径技术。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

检测设备校验韶关-认证单位而有些泄漏又非常隐蔽，除了微小的不容易听到声响之外，“隐蔽”的泄漏往往发生在工作场所背景噪声较大的环境中。以上所有的泄漏，组成了整个系统中的泄漏源。事实上，早在1995年，美国能源部就发起了压缩空气挑战活动，以帮助工业领域的压缩空气使用量在21年前减少1%。他们指出，压缩空气是工厂内成本的公用资源之一，在美国所生产的所有压缩空气中，存在3%的泄漏损失。他们估计每年的成本约为32亿美元。常见的压缩空气泄露通常发生在以下这些部位：管道接头、快插接头压力调节器（FRL）经常打的冷凝水排放阀破损的软管，破裂的管道工厂里的泄漏无所不在，如果一个工厂希望消除泄漏几乎不可能，我们能够到的就是将压缩空气的泄漏控制在一个合理的范围内。