仪器检测怀化-审厂

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

我们选择波特率500kbps的通信速率，用ZLG的CANScope发送CAN报文，CAN卡接收报文。先调整Stressz的设置，模拟总线长度为10m，终端电阻为120欧姆，Stressz的设置如所示。模拟线缆长度为10m打CANScope报文接收，可以正常接收报文，将CANL线短接到GND后，从示波器上看CANL电压为0V，但是报文正常接收，如：从示波器上差分电压还能够进行清晰的辨识。CANL短路通讯正常但是实际应用现场，CAN总线的传输距离比较长，当我们模拟总线长度为120m时，我们再看看通讯质量，先把Stressz设置为线缆长度为120m。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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为保障电梯安全运行，提高电梯动态监管和信息化水平，目前 有关部门及电梯企业都逐渐要求电梯配备远程监控系统。该系统通过在电梯轿顶、机房的传感器，采集电梯故障和维保信息，并通过GPRS传输设备将数据传输到电梯运行管理。GPRSDTU在电梯物联网中的应用信息化管理滞后电梯故障频出近年来，随着城市建设的不断发展，电梯数量也同步增长，但是一些问题也渐渐显露出来：维修保养不到位，电梯经常出现故障。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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源测量单元(SMU)是一种可以电流或电压，并测量电流和电压的仪器。SMU用来对各种器件和材料进行I-V表征，是为测量非常灵敏的弱电流，同时或扫描DC电压而设计的。在拥有长电缆或其他高电容测试连接的测试系统中，某些SMU可能不能在输出上容忍这样的电容，从而产生有噪声的读数和/或振荡。泰克日前为Keithley4200A-SCS参数分析仪推出两款源测量单元(SMU)模块。4201-SMU中等功率SMU和4211-SMU高功率SMU(选配4200-PA前置放大器)可以进行稳定的弱电流测量，包括在高测试连接电容的应用中也非常稳定，使用非常长的三芯同轴电缆来连接器件的应用。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器检测怀化-审厂 时间相关项的测量小结：有一些特殊的波形(如正弦波)会出现Vtop和Vbase求解失败(概率少于5%)，此时会使用Vmax与Vmin作为新的顶部值与底部值，并且会在Vtop和Vbase的值后面，追加?号显示来表示异常，如所示。顶部值、底部值与值，值相同测量与统计算法分析测量与统计的原理很简单。先要理解一个概念，同一个测量项在同一次测量中可能会遇到多次，如周期，一段波形可能有N个周期。这样就出现了新的问题，周期的测量结果对应波形的哪个周期?为了解决这种不对应的问题，并让测量结果更具有意义，我们采用了统计学中的6种值来描述测量结果，分别如下：当前值(Current)：表示个测量值，对应中的位置。