测试设备校准乐山-计量公司

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。
了“基本性能”，不过第3版将其进一步详细定义为“为避免不可接受的风险所必需的性能”。商负责确定性能或功能的丧失会导致可接受的风险还是不可接受的风险，具体通过确定事件发生的概率或频率以及事件的严重程度来分析。如果设备的性能或功能丧失会对患者、操作人员或环境造成损害，则归类为不可接受的风险。举例来说，如果测量血糖水平的式电池供电仪表由于部件发生故障而停止工作，则这种情况是可接受的风险。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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此外，一些重点场所也始布置毫米波人体安检仪，如大使馆、机关、大型会场和体育场馆等。在前两代产品获得巨大成功的基础上，罗德与施瓦茨推出的RSQPS201快速人体安检仪，进一步优化了硬件设计、检测算法、时间、安检通道设计等等多种要素，提升了安检仪的精度、效率、可靠性，契合 各地机场的多样化需求。目前已经通过上述三大机构的认证许可，并在各大机场大量投入使用，以其高扫描速度，高分辨率和高检出率广受客户的好评。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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传统的S参数并不能区分差模信号和共模信号，更不能反映差分传输线各模式的传输和不同模式的转化特性，因此无法准确衡量一个差分平衡器件的性能。为完整表征一个差分平衡器件的特性，需要知道它在差模和共模激励下的响应，以及在这两种激励下的模式转换信息，以4端口的平衡参数为例，混合模S参数矩阵可以完整表征其特性指标。其中，混合模S参数用Sabxy的形式表示，前面两个下标分别表示响应和激励信号的模式，d代表差模信号，c代表共模信号，后两位数字下标分别表示响应和激励的端口。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试设备校准乐山-计量公司智能手机（Smartphone）和智能手表（SmartWatch）的“智能（Smart）”同时具备两层含义：“智慧、聪明”和“小巧、轻薄”。曾经的日本通过在 范围内更小型的产品，创造并拥有了较高的质量，得以引领 技术的发展。日本曾通过电子计算机、手表、携带式收音机、音乐播放器（Player）、紧凑型数码相机（CompactDigitalCamera）、集成电路录音机（ICRecorder）等一系列的的电子产品拓展了世界市场。