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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

相较于国内其他一线城市，深圳的空气质量令人艳羡。除了污染企业少、绿化程度高以外，靠海的地理优势也是很重要的因素。即便如此，根据《深圳市大气环境质量提升计划（217—22年）》：到22年，空气质量优良天数比例达到98%，PM2.5年均浓度控制在25微克/立方米以内，达到世卫组织空气质量准则的第二阶段目标值，深圳的PM2.5还需下降2微克/立方米。为此，深圳市制定了8大领域的23项重点措施，其中很重要的一项就有柴油机的DPF。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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测量励磁线圈对地(测线号“1”和“7”或“8”)绝缘电阻来判断传感器是否受潮，电阻值应大于20兆欧。测量电极与液体接触电阻值(测线号“1”和“2”及“1”和“3”)，间接评估电极、衬里层表面大体状况。如电极表面和衬里层是否附着沉积层，沉积层是具有导电性还是绝缘性。它们之间的电阻值应在1千欧~1兆欧之间，并且线号“1”和“2”及“1”和“3”的电阻值应大致对称。关闭管路上的阀门，检查智能电磁流量计在充满液体且液体无流动的情况下的整机零点。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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与此同时，一批光谱仪器也在宝石鉴定方面有着越来越广泛的应用。红外光谱仪、拉曼光谱仪、电子探针仪、X光粉晶衍射仪也可以对翡翠进行无损和微区微量分析。比如，红外光谱是鉴定翡翠“B货”的常用方法；拉曼光谱可通过检测翡翠内部的结构和物质，分辨“B货”、“C货”和“B+C货”。几类仪器的综合使用，往往可以保证翡翠鉴定结果的准确、可靠。不过，由于上述科学仪器，尤其是显微镜和光谱仪器价格不菲，因此并非所有机构、部门或者个人都可以配备。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

计量器具外校贵阳-认证中心在光伏发电系统中，如何提高系统的整体效率，一个重要的途径就是实时调整光伏电池的工作点，使之始终工作在功率点附近，这一过程就称之为功率点跟踪(maximumpowerpointtracking,MPPT)。MPPT基本原理理论上讲，只要将光伏电池与负载完全匹配、直接耦合（如负载为被充电的蓄电池），负载的伏安特性曲线与功率点轨迹曲线即可重合或渐进重合，使光伏电池处于输出状态。但在日常应用中，很难满足负载与光伏电池的直接耦合条件。