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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

它们简单易用、功能丰富，可满足各种电气和暖通空调布局要求。如果您还在疑惑为什么需要福禄克专业级激光水平仪，那么下面我们为您陈述五大原因：1.准确度、准确度、准确度无论您要关设备、管道系统、电缆桥架、照明设备、电源插座还是关，为保证性能或美观或者两者兼顾，关键是要将它们映射到一条直线上。粉笔线和参考绳可能会下垂、模糊或消失。福禄克线式激光水平仪投射，可读基准点在1米范围内到3毫米。由于配有一个快速稳定、自动调平的万向支架，此设备可即时结果。可承受野蛮操作您可能已经尝试过使用激光水平仪，却发现还要小心翼翼地操作。现有的激光水平仪易断，如果跌落就会失去校准。让我们面对现实吧，当您正在工作现场工作时，激光水平仪掉落，您不可能每次在发生这种事的时候重新放置您的激光水平仪。福禄克为其激光水平仪添加了一个橡胶保护壳，通过了一米跌落测试并保持校准不变。时间就是金钱这种陈词滥调却是真理。据估计，电工们可能要花费多达25%的时间用于测量和布局工作。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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所以，非制冷红外焦平面探测器是CMOS-MEMS单体集成的大阵列器件。非晶硅红外探测器结构应用领域非制冷红外探测器在事和商用领域具有非常广泛的应用：事领域事领域应用包括武器热观瞄（TWS）、便携式视觉增强、车载视觉增强（DVE）、远程武器站（RWS）、无人机（U）、无人驾驶地面车辆、观察指挥车、火控和制导等，如所示。非制冷红外探测器在事领域的主要应用热像测温领域热像测温用于预防性检测，对电力输电线路、发电设备、机械设备等通过红外热像仪检测异常发热区域，可以预防重大停机以及事故的发生。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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电池技术是被广泛认为是颇具前景的够满足现在和未来环境，以及能源需求的方法。电池可以作为建筑物的热源和电源使用，也可以作为电机的电源。在伦敦大学学院(UCL),研究者们正在发这项技术的商业化应用。为了分析这些系统的性能，他们使用了很多工具，其中就有FLIR红外热像仪。在UCL的电化学创新实验室(EIL)，一支由研究员，教授和工业合作伙伴组成的团队，正在研究使用包括氢电池在内的各种电化学设备进行发电。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

轻工实验室南阳-认证中心称重传感器是电子计价秤不可缺少的重要部件，其准确度对整机的影响很大。电子计价秤称重传感器的常见故障现象及维修方法主要有：通电后，显示屏只显示一串“8”，而且不断闪亮。出现此故障先要检查秤盘的放置位置是否正确。其次检查是否有活动物体卡住传感称重部分，再就是检查模拟关集成块是否损坏。当将同一称重载荷加到电子计价秤上时。每一次的称重显示值都不同。一般，机械滞后或重复性超过规定值时，就会产生此故障。造成机械滞后超差的原因有以下几个因素：电阻应变片本身的特性不好；性体的材质和几何形状不好；粘贴剂变质，应变片与性体粘贴不好。