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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

单端器件但随着先进的MMIC集成电路的出现，越来越多的射频电路始使用差分平衡形式来设计。计算机、服务器中背板的差分平衡时钟速率已到达上百吉比特每秒，速率如此之高也必须按照射频和微波器件来考虑。平衡器件平衡器件的输入或输出都是两端口的。平衡器件所传输的信号是两个端口之间电平的差值或平均值，输入的两端口或输出的两个端口之间互为参考，而不是以地为参考，如所示。理想情况下，当差分平衡器件的输入端加上幅度相等、相位相差18度的差模信号时，输出端得到的也是差模信号，这种工作模式称为“差模/差模”模式。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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我们对转子试验台进行单平面影响系数法的动平衡计算，这种简单的动平衡方法能解决大部分的动平衡问题。主要测量工具为VC63F动平衡分析仪一台、振动传感器一只、光电转速传感器一只、配重螺丝若干。实验步骤如下：贴反光纸（可缠绕黑胶带增加反光纸的辨识度），光电传感器，指示灯灭代表反光纸反光到传感器成功。振动传感器，本例使用位移传感器，用户需在仪表设置页选择对应的传感器类型为位移。运行转子台，用户切换仪表页面到单平面影响系数法，此时可以获取当前振动值和振动相位值。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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当输出电压Uout降低时，基准电压与取样电压的差值增加，比较放大器输出的驱动电流增加，串联调整管压降减小，从而使输出电压升高。相反，若输出电压Uout超过所需要的设定值，比较放大器输出的前驱动电流减小，从而使输出电压降低。供电过程中，输出电压校正连续进行，调整时间只受比较放大器和串联调整管回路反应速度的限制。环路内的负反馈总是强制比较放大器调节输入两端的电压使其相等。LDO的效率不高，下表是3.3v的LDO量得的数据。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

工程类实验室扬州-费用多少一电动汽车感应式无线充电原理感应式无线充电技术是目前已经被成功地应用到一些电动汽车充电系统当中，发射系统埋在地面以下，接收的线圈一般位于汽车底盘，发射线圈与接收线圈发生感应耦合，相当于一个可分离变压器，通过线圈间的高频电磁场对电能进行无线传输，其基本结构如所示。可以看到，首先来自于电网的工频交流电经过整流和逆变转化为高频交流电，这个频率一般是几十到几百KHz，电流通过补偿电路到达原边发射线圈，并在线圈中产生高频电磁场，电动汽车上的副边接收线圈通过电磁场吸收来自原边的电能，之后再经过高频整流、BMS电路等环节， 终给负载电池充电。