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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

一种应用在电能表中RTC模块的补偿校准方法，包括：根据测量的RTC模块的晶体温度获取时钟校准所需的补偿参数；根据所述补偿参数和RTC模块的补偿单位计算补偿校准值和补偿余数；根据所述补偿校准值和所述补偿余数对RTC模块的时钟频率进行校准。优选地，在个补偿周期中，所述根据所述补偿校准值和所述补偿余数对RTC模块的时钟频率进行校准，具体包括：按照所述补偿校准值对所述RTC模块的时钟频率进行校准，并存储所述补偿余数。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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在这项测试时，前端接上IT76系列交流电源，打电源的List功能，可以设定步进的增大或较小电压，亦可以编辑电压的瞬间跌落，观察交流负载上的输入电压是否跌落，去测试智能操作的保护特性。智能插座的过流/短路保护带这项功能的智能插座可以在家电设备出现短路或者过流情况时，直接切断输出，不会跳家庭的总闸。在这项测试时，后端IT86系列交流负载步进的去增大CC的拉载值，去观察交流负载上的带载电压值，去验证智能插座的保护特性。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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漏电检测原理对电力系统回路进行漏电检测的方法有很多，如绝缘监测装置，低频探测法，变频探测法，霍尔磁式平衡等。本设计采用了霍尔磁式平衡原理，为克服传感器的剩磁所带来的对系统检测到的漏电大小的影响，采取了将零点设计为可以通过按键调整的系统。霍尔磁式平衡检测的基本原理如所示。观察直流系统任一支路,从电源正端流出的电流IL+,流经支路全部负载后,返回电源负端的支路电流为IL-,当该支路没有接地电流时,IL+=IL-,穿过传感器的电流大小相等,传感器无输出。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

计量器具校准宜宾-第三方公司几何形状有多方面的适应性，可构成任意形状的光纤传感器。传输频带宽。光纤的带宽距离乘积为30MHz?km?10GHz?km。光纤传感器无可动部分、无电源，是一个电气无源系统。此外，光纤还有耐水性好、抗腐蚀性强、可高密度传输数据等优点。利用光纤能构成种类繁多的传感器，故有人称光纤传感器是传感器。它可测量许多物理量，应用范围遍布事、民用、商业、医学、工业控制等各个领域，如下表所列。表用光纤测量的物理量目前，已证明用光纤可构成检测加速度、速度、位移、角加速度、角速度、角位移、压力、弯曲、应变、转矩、温度、电压、电流、液面、流量、流速、浓度、PH值、磁、声、光、射线等多种物理量的传感器，这些传感器与以电为基础的传统传感器相比较，在测量原理上有本质的差别。