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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

也就是说物体只要是有温度存在,就会有热辐射产生。辐射电磁波谱如。电磁波谱是由波长相差很大的r射线、x射线、可见光、紫外线、红外线、和无线电波组成。它们的波长范围是1~3m到1~8m,可见光谱仅是其中的很小一部分,约.38μm到.78μm,而比可见光更长的的一段波长辐射是红外辐射.7μm到15μm。铁路 红外测温仪的应用波长为8～14μm,主要是用在远红外区域内。由此可知低温时辐射能量较小,而且主要是发射较长波长的红外线,随着温度的升高,辐射能量急剧增加,同时辐射光谱也会逐渐的向短波方向。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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而就技术方案而言，LoRa和NB-IOT有共同点，也各有特点及缺点：LoRa优势：相比于NB-IoT，LoRa基于Sub-GHz的频段使其更易以较低功耗远距离通信，可以使用电池供电或者其他能量收集的方式供电；LoRa信号的波长较长决定了它的穿透力与避障能力；大大的改善了接收的灵敏度，超过-148dBm的接收灵敏度使其可视通信距离可达15公里；降低了功耗，其接收电流仅14mA，待机电流为1.7mA，这大大延迟了电池的使用寿命；基于终端和集中器/网关的系统可以支持测距和。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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4051外扩频功能特点包括：50GHz～75GHz GHz、170GHz～220GHz、220GHz～325GHz系列化频段覆盖。分析仪主机与扩频模块之间采用USB接口连接，即插即用，扩频模块自动识别、变频损耗自动配置，无需人工配置。分析仪主机软件信号识别功能，谱能力强。外扩频功能的使用方法：4051系列信号/频谱分析仪扩频连接图a)按所示连接仪器（暂不连接红色部分）。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

检测设备外校黑龙江-费用多少波形 的主流分辨率为12比特，而ZLG致远电子ZDL6000示波 分辨率为14比特，在同样的条件下，可以读到的刻度值为0.0012V。分辨率越高，采集精度越大，更容易 测量信号的值、有效值等数据，还可以根据这些数值进行高精度的运算(如：瞬时功率，能量积分等)。通道数量数字示波器一般都是4通道的，而波形 根据机型不同，支持通道数一般在8通道以上。通道越多，可同时观察的信号也就越多，可比较性就越好。