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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

工业使用的仪器，使用一定时期后，将满足产品老化，老化的试验和环境试验，它可以检测早期文书的一个潜在故障，准备的解决方案和解决方案，尤其是可以发现的常见故障，所以相同的仪器设备早期通过修改电路和方法恢复，有助于提高耐久性和可靠性的工具。老化测试一般的老化测试时对部分仪器仪表进行长时间通电运行，并测量其平均无故障工作时间，分析总结这些仪器仪表的故障特点，找出它们的共性问题加以解决。环境试验环境试验一般根据仪器仪表的工作环境而确定具体的试验内容，并按照 规定的方法进行试验。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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，OPA209的典型PSRR是0.05uV/V。因此对于OPA209来说，电源变化1V时，失调偏移只有50nV(参见)。这一误差与典型失调电压(35uV)相比就无关紧要了。此外，高精度系统中的电源通常支持不足1V的电压变量。因此您可能会认为：对于具有良好PSRR的器件(OPA209)来说电源变化产生的误差可以忽略。问题是数据表中的规范是DCPSRR，而通常ACPSRR才是限制因素。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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下表所示是电源模块常用的一些关键元器件的降额参数要求：对于电源模块的应力设计，重点关注场效应管(MOS管)、二极管、变压器、功率电感、电解电容、限流电阻等。保证全电压范围内在稳态、瞬态、短路等各种极限条件下都能有足够的降额，以保障产品的可靠性。对于某Vds电压为100V的MOS管，作为电源模块的主功率关管，实测其在输入电压下的各种状态(如～3所示)，Vds=67.2V，降额因子0.672，满足Ⅰ级降额，余量很充足。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

检测设备校验金华-认证机构对于CAN总线间的电抗，我们希望并联容抗越大越好，串联感抗越小越好，因为当信号线路寄生电容和寄生电感存在时，会导致信号的上升/下降沿跳变时间变长，同时也会导致信号幅值变小从而可能导致CAN信号通信过程中显隐性误判。测量方法阻抗测量有多种可选择的方法，每种方法都有优缺点，为了达到的测量效果需要考虑测量过程中的频率覆盖范围、测量量程、测量精度和操作的方便性。而在这里，我们选择普遍使用的电流-电压直接测量法作为例子。