计量器具校准金华-校准机构

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

电流卡环是将线圈绕组绕制在导磁率较高的磁性材料上,当被测电流较大时,存在磁饱和问题。为了进行测量，需要偶尔对探头进行消磁，并在消磁后补偿探头上保留的任何直流偏移。现在常见的技术是混合交流/直流电流探头，在一个探头内整合了用于测量直流和低频的霍尔效应传感器元件以及测量交流的电流互感器。霍尔效应传感器类型电流互感器类型混合霍 混合交流/直流型，可以测量直流/交流电流，测量模拟带宽50MHz，测量精度可达1%。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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根据设计的不同，在任何地方测量的电压从几μV到几百个μV不等，尤其是在多个电阻需要被设计的时候。通过DMM测量电阻时，DMM的工作原理是向电阻注入一定的电流，然后测量它的电压降。因为电流是已知的，所以可以计算出电阻值。然后，如果存在热电动势，它的测量电压将会被改变，导致电阻测量中的误差。举例：一个10Ω的电阻通过一个1mA的电流源进行测试，通常情况下将会产生10mV的电压。如果电阻模块产生一个100μV的热电动势，那么测量误差为1%。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

计量器具校准金华-校准机构只要一个简单的内部AND或者OR门控就足以避免使用外部组件，或是改善CPU性能。所有四种方法都支持用逻辑门控输入和输出信号。这类方法可借助时钟门控输入，以便使用计数器测量外部时钟频率。这四类逻辑模块均支持的一个简单例子是一种调制UART输出，使之用于IR通信的方法。在此例中，不仅有所示的内部AND门控，还能够将来自时钟或计数器的信号及UARTTX输出路由到AND门控。简单调制的UART[pagebreak]AtmelXMEGA逻辑（XCL）AtmelXCL模块内置两个LUT（查找表）模块，配套两个8位定时器/计数器模块。