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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

将探头信号端和参考地连接到示波器面板上的参考输出，然后按Autoset。如果使用探头钩式前端附件，请将信号针前端牢固连接在探头上，确保正确连接。如组图一所示：-1-2组图一探头补偿调节2.检查所显示波形的形状。可能会出现的情况如图二。图二补偿过度，不足和正确补偿后半部的波形形状示意过度和不足都需要调节探头。以能更好的测试准确值。如果波形不正确，请调整探头。如下图三所示，直至波形为上面的补偿正确波形。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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测试标准 -5。该标准适用于电气和电子设备在规定的工作状态下工作时，对由关或雷电作用所产生的有一定危害电平的浪涌电压的反应。该标准不对绝缘物耐高压的能力进行试验，也不考虑直击雷。该标准的试验等级分类如下：表1试验等级浪涌防护电路由于电源模块体积小，在EMC要求比较高的场合，需要增加额外的浪涌防护电路，以提升系统EMC性能，提高产品的可靠性。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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放大器输出节点在为滤波器选择组件时了的自由度，并且实现起来非常简单，尽管它可能需要后续的缓冲。当分流电阻值减小时，并联电感对频率响应有显著影响。在小于1mΩ的情况下，并联电感产生传递函数中的零点，通常导致在100kHz的低频率下产生拐角频率。这种电感增加了电流检测线路上高频尖峰瞬态事件的幅值，从而使任何并联电流检测集成电路（IC）的前端过载。这个问题必须通过在放大器输入端进行滤波来解决。请注意，无论商如何声称，所有电流检测IC都容易受到此问题的影响。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

工程类实验室韶关-审厂汽车供电系统输出复杂，大电流马达、电磁阀等各种元件导致供电电压输出经常发生波动，大电压脉冲或跌落现象频繁发生，对车内电子产品能否稳定工作造成挑战。为方便汽车电子行业相关产品的测试，业界有一些通用的标准，汽车电子产品的生产企业使用这些标准中所规定的测试波形进行产品测试。目前，针对于汽车电子，艾德克斯的是基于ISO1675-2（道路车辆电气电子设备的环境条件和试验第2部分：电气负荷）和DIN4839（汽车中的电磁兼容性，12V和24V辅助电路中供电线的导线扰动量）标准，针对汽车在复杂工况下以及汽车电源异常时，车载电子设备稳定性的测试解决方案，可测试对象包括电动车窗、雨刮器、车载音响设备等众多汽车电子电器。