测试仪表校准上饶-审厂

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

征能ES325E数字绝缘电阻表（5V）具有：量程～2GΩ，分辨率.1MΩ，额定电压：25V/5V/1V/25V/5V，直流电压:～1V，交流电压:～75V，数据存储5组。以下是测量电动机的绝缘电阻应用。打征能ES325E数字绝缘电阻表（5V）仪表箱，配件有：仪表：1台，高压棒：1支红色，高压测试线：2条（黑色,绿色各1条），电池：1.5V碱性电池6节，说明书、保用证：1套，仪表箱：1个。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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现场动平衡测量仪具有检测与转子同频、半频和倍频振动分量的频率分析能力。现场动平衡测量仪操作简单，仪器自动提示，一般人员都可使用现场动平衡分析仪是嵌入式计算机技术和动平衡技术，兼备现场振动数据测量、振动分析和单双面动平衡等诸多功能，简捷易用。是工矿企业预知保养维修，尤其是风机、电动机等设备厂和振动技术服务机构 为理想之工具。现场动平衡测量仪具有动平衡测试，给出转速、总振幅、选取频振幅和相位角（相对光电参数标志），这是一般动平衡仪功能。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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每年都有新手机发布，大家都在追逐更高的手机性能，除了主CPU频率高以外，还需要关注GPU，同时RAM也要越大越好，存储芯片对手机速度的影响，大家又知道多少呢？手机普及，诺基亚无可替代20世纪90年代，风靡世界是诺 型号，占领了当时80%手机市场。诺基亚手机里面集成了Intel的NorFlash芯片，他的 读取速度仅为5MB/S，这个速度，应付当年的手机游戏“贪吃蛇”的应用是足够了。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试仪表校准上饶-审厂MEMS麦克风的高品质主要是受到消费电子市场需求的驱动而发展。在设计高品质声级计时也需要考虑它们的特性。注：声级计是 基本的噪声测量仪器，它是一种电子仪器，但又不同于电压表等客观电子仪表。在把声信号转换成号时，可以模拟人耳对声波反应速度的时间特性；对高低频有不同灵敏度的频率特性以及不同响度时改变频率特性的强度特性。声级计是一种主观性的电子仪器。MEMS是一种微型机电系统，采用与微电子电路相同的材料（通常是硅）和蚀刻技术进行（见）。