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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

当号信号被脉冲调制后，信号的频率谱密度会发生变化，为经脉冲调制后的频率谱。频率谱特性按脉冲重复频率PRF(pulseRepetitionFrequency)为等间隔的离散频谱，频谱形状为sinx/x幸格函数。脉宽的倒数为过零点的位置。图连续波经脉冲调制后的功率谱1.1脉宽和脉冲重复频率对相位噪声的影响下图水平位置表示脉冲重复频率PRF保持不变，而改变脉冲宽度τ脉冲频率谱的变化情况，垂直位置表示脉冲宽度τ保持不变，而改变脉冲重复频率PRF脉冲频率谱的变化情况。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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?位移量同步比较动态测量仪器。如测量线位移和角位移的渐线齿形检査仪、丝杠动态检査仪，以及测量角位移和角位移的齿形单面啮合检査仪、传动链测量仪等。在这类仪器中，测量角位移绝大多数用光栅式传感器，测量线位移也多数用光栅式传感器。?髙精度机床上的线位移和角位移测量。如高精度的光学坐标镗床、长刻线机和圆刻线机等。?数控机床上的位移测量。当前在数控机床的检测系统中，光栅式传感器用得很普遍，如数控车床、数控铣床，以及数控滚齿机等。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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快速电池更换由于采用了创新设计，可无需任何工具在几秒钟内安全地更换电池。多功能箱：配置、数据读取、运输除了安全存放外，多功能箱还可连接testo191专业软件，确保快速配置 和读取 的数据。更运输箱可同时对 多8个testo191数据 进行配置和读取数据。更实用编程和读数单元 在运输箱内。因此您无需在运输仪器与编程/读取单元之间进行切换。更可靠温度数据 在坚固的运输箱中获得可靠保护，以免受损坏。51系列信号分析仪漂移信号的定义如果被测信号是漂移信号，用信号分析仪测量时，在不同的时间需要不停地变换中心频率才能观察到。如果利用信号分析仪的信号跟踪功能，标记峰值将一直显示在信号分析仪的中心频率上，可以方便地进行测量。需要用到的信号分析仪的功能本文将介绍如何测量漂移信号，将用到信号分析仪信号跟踪、标记功能及保持功能来观察漂移信号的幅度轨迹和占有的带宽。测量信号发生器的频率漂移信号分析仪能够测量信号发生器的短期稳定性和长期稳定性，使用轨迹保持功能信号分析仪能显示输入信号的峰值幅度和频率漂移。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

检测设备外校福州-外校单位基于三极管架构的PCA82C250/251已经无法满足汽车电子用户要求。所以NXP公司推出了新一代基于JFET的TJA1040/1050T收发器，不但可以与老的PCA82C250/251实现无缝升级，而且增加了待机模式功能与Split共模输出功能。同时为了防止MCU死机而拉低TXD，在收发器中增加了发送显性超时关断功能，所以TJA1040/1050的波特率只能到40Kbps，所以这就使得许多低波特率客户（比如煤矿都是使用5Kbps）无法替换升级。