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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

x10档结构模型此时示波器输入信号衰减为被测入信号的1/10。对于较高频率的输入信号,容抗对于信号的影响会大于阻抗。，探头在x10档时，输入阻抗为10MΩ，输入电容10pF，输入信号的频率为100MHz，此时，探头输入容抗为Xc(Cp)=1/（2×π×f×C）=159Ω，此时容抗远远小于探头阻抗，信号电流更多的会通过输入电容的低阻回路，而高阻回路等效为旁路。探头作为测试的环节，能否将信号高保真的传输至示波器是能否准确测试分析的重点，所以，在测试较高频率信号时，需注意探头的带宽和输入电容是否合适，下表为ZDS2000系列示波器标配探头参数。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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国内车祸7%以上在于新手未经有效技能培训及理论学习，智能化驾考则从源头上消除人为因素对结果的影响，保证公平、公正及可追溯性，进而减少交通事故。今天就了解一下智能驾考终端是怎样设计的。随着国内汽车保有量不断攀升，更严格的新规正在酝酿（科目五，虽然当前只是传言）。据统计，国内车祸7%以上在于新手未经有效技能培训及理论学习，驾考严格化也在情理之中。驾考严格化的有效实施大致在21年前后，智能化驾考推广普及。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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关于振动波形部分，因为车辆行驶过程中道路路面不平整，振动随机发生，因此随机波更能真实得反映路况，当然一些车厂会采用标准正弦波的振动波形实验。回到温度-振动试验的模拟加载脉冲电流部分，标准中给出规范：100mA/10ms---0A/190ms，一个周期为200ms。因为电流较小，且 短位置脉冲时间为10ms，因此普通的直流电源无法实现这样快速 的测试。艾德克斯IT6400系列电源在正负极短路状态下，可按照标准参数编辑：100mA/10ms---0A/190ms，轻松模拟振动测试，并可循环试验，测试波形如下。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器计量内江-电话滚动模式滚动模式的特点如下：连续采样，无采样间隔，边采样边显示，无触发设置，波形始终从右往左滚动显示。所示。优点：采样无死区，且实时显示，不会丢失数据。但应注意到，采样率过低也会导致采到的数据没有意义，所以选择深存储示波器是至关重要的，深存储波形不失真， 重建。缺点：波形无法稳定显示，没有触发的概念，不能自动识别低概率信号。小提示：为什么滚动模式下，波形是从右往左滚动显示的呢？因为YT模式定义的时间轴是左负右正（左侧为旧数据右侧为新数据），那么新采集的数据必然是从右侧增加，旧的数据则从左侧移出屏外，所以就形成了从右往左滚动显示。