仪器外校信阳-第三方公司

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

兼容性有一种情况非常普遍，人们使用X公司生产的示波器却配Y公司生产的探头进行测量。事实上，示波器和探头并不总是可互换或可兼容的。的法是使用同一家公司生产的示波器和探头，从而排除任何潜在的冲突问题。校准在使用示波器进行测量时 容易忽视的步骤之一是校准。校准是一种简单易行的方法，可以确保您的每次测量都是从头始，不受上次测量的影响。在始测量前应该进行手动校准，如果示波器带有自校准功能，您在测量前应该运行这个功能。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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即使尖峰频率高于器件的额定带宽，也需要在器件的输入端进行滤波以解决此问题。其他应用，如DC-DC转换器和电源应用也可能需要在电流检测放大器的输入端进行滤波。所示为建议的输入滤波原理图。.输入滤波补偿小于1mΩ的分流电阻的并联电感，以及任何应用中的高频噪声由于滤波电阻的增加电阻和它们之间的相关电阻失配会对增益、共模比（CMRR）和VOS产生不利影响，所以输入滤波是复杂的。对VOS的影响部分还归咎于输入偏置电流。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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如果我们用积分法和光度法去测试同一个灯，对比测试结果我们会发现二者测试的总光通量数据有较大差异。本文重点讲述的是LED灯具在积分球和分布式光度计中流明测试的差异。积分法测试总光通量的原理是通过光通量标准校准。由于用标准灯校准，所以不必知道球体的光谱输出量，被测LED灯产品的光通量φTEST（λ）是与标准灯比较计算出来的。通常来讲积分法适合用于小型集成LED灯具和相对较小的LED光源测试总光通量和色度参数，这是总光通量的相对测试方法，采用积分法具有测量速度快和无需暗室的优点，通常体积越小，越接近于点光源的灯具测试结果越准确。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器外校信阳-第三方公司在产品功能上，将所有软硬件资源面向电源测试需求深度优化。在产品设计的时候我们坚守两个理念：：围绕电源测试的需求深度优化；克制：去除电源测试不关注的通用功能避免冗余。为什么要选择“电源行业”去版示波器？首先，示波器是电源工程师的必备调试工具，在整个工业研发领域占比，因此电源工程师的需求代表了研发工程师对示波器的主流需求。其次，通用示波器电源测试不仅资源冗余，同时没有标配专业的电源分析软件。