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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

正确选择电源的集成电路(IC)表面上看似易如反掌。然而，随着需要多电源电压轨的消费类电子产品的推出，这项工作变得愈发复杂。当选择实际工作中所需的IC时，必须考虑成本、解决方案的外形尺寸、电源、占空比以及所需的输出功率等诸多因素。另外，必须根据重要性和相应选择的电源，对这些因素进行排序。在本文中，我们将确定所示电源的解决方案。示例应用中采用的是便携式电源，同时要求程度地降低功耗以及减小封装尺寸、并由一块单体锂离子电池供电(12V供电电源对其进行不间断充电)。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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固纬电子新推出的数字存储示波器，采用自行研发的波形图像技术，大幅度提升了波形捕获率和波形显示能力，称之为VPO（VisualPersistenceOscilloscope）技术。代的模式示波器（CRT显示，如a）采用的是模拟电路电子向内表面涂荧光物质的屏幕发射电子束，电子束经过X轴和Y轴两个偏转电场后在屏幕上显示波形。由于荧光物质的不同，波形图像能够在显示器上保持一段时间，能清楚地观察信号的变化细节。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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海港内船只交通以及周边边界等安全问题都需要有效的监控来实现，尤其是在夜间、水雾天气。因为红外热像仪有很好的夜视和透雾功能，所以安防监控系统可以全天候检测目标区域的安全。社区安防监控。随着人们安防意识的提高，社区安全的重要性日益凸显。特别是在 高绿化社区，犯罪分子利用绿化树丛躲避检查，从而在晚上等黑暗时间进行犯罪活动。安防监控系统能够通过夜视功能发现隐匿犯罪分子，从而有效的预防夜间偷盗、破坏等犯罪行为的发生，同时能够提高居民的人身、财产安全保护等级。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

工程类实验室商丘-外校单位实验结论：电流从正到负为无缝切换，可理解为切换时间为。当CC优先选择高速时，会有一个持续1ms的过冲（图一），客户可以根据实际的测试需求，选择CC优先的高速/低速，如上测试当选择CC优先低速时，就可以平滑渡过过冲阶段。IT6C如何实现无缝切换？IT6C不同于传统的源载一体机，采用的控制原理，将源和载的控制合为一体，采用数字环控制方式。其中从采样比较输出都是同一环路控制，故可以到无缝切换。