仪器计量江苏-检测单位

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

直线度公差指单一实际直线允许的变动全量。用于控制平面或空间直线的形状误差，其公差带根据不同的情况有几种不同的形式。直线度的测量自动测量能给工作人员准确的信息，保证轧材符合标准。光电法测量光电法测量是以三台测径仪为基础进行检测的，可以用于测量运动中的线、棒、管的外轮廓的直线度。布置上图的的设备3台，三台设备同一时刻测量被测工件的位置数据左边和右边两台采集的位置连线，计算出中间设备的在直线度为0时的理论位置，与中间一台所获的的位置数据比较，差值即为被测工件在当前位置的直线偏差如下图所示。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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但由于受到补偿模块中补偿单位的限制，不能的将每个周期的偏移量完全补偿到实时时钟里去，会留下补偿余数，造成微小的补偿偏差。在单个时钟校准周期中，这种微小的补偿余数对时钟度影响不大，但多个周期累积起来的偏差会对时钟的性造成不能忽视的影响。为了解决现有技术中对RTC模块的补偿方法容易产生的补偿余数累积误差、无法满足高精度的要求等技术问题，本发明提出一种应用在电能表中RTC模块的补偿校准方法及装置。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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所以，对于电力设备进行检测才可以确保电力系统能够平稳的运行。冶金行业电气设备状态检测技术的运用红外检测技术表面温度判断法此方法大都针对那些暴露于设备以外的触头与接头等。实施较为的测量，以获得温度的点所在。经过对电气设施的表面温度进行测量，经过对比相关的标准，同时融合具体的电力设施的温度负荷率与其所能承载机械应力的多少，挖掘电气设施的热缺陷。同相比较判别法同相比较法所代表的是测量数据与之前所进行的测试及 初的数据实施， 获得测量结果的形式。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器计量江苏-检测单位此测试中，将中心频率CenterFreq设定为1.5GHz,扫宽Span设定为1000MHz.具体测试结果如下图所示。根据测试结果和我们归一化是的测试图比较，就能很好的看到滤波器的形状特性以及插入损耗。图五： 终测试效果图五其中，根据波形分析对滤波器特性的要求,我们可以应用几个Mark点测试此滤波器各个点的特性。分析MARK2点与0dBm（归一化后的参考电平）之间的差值是滤波器的插损，MARK1幅度为-3dB处的带宽。