测试设备校正福建-认证单位

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

根据空调要求和使用要求，选择空调的运行方式，如制冷、制热、除湿或通风等，空调正常运行后启空调器，空调器就能按选定的运行方式正常运转。空调机：机运行后，根据需要可以通过调节风量关来调节空调器的制冷(热)量。一般空调器的制冷(热)量的调节均通过改变风量来达到调节目的的(变频式空调器是调节压缩机转速)。窗式空调器一般设置有强冷和弱冷或强热和弱热旋钮，将旋钮定于强冷(热)或弱冷(热)，实际是调节风量为高风量或低风量。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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据悉，一般测控系统有传感器、中间变换器和显示 组成。传感器将被测量检出并转换成已与测量的物理量，中间变换器对传感器的输出量进行分析、、转换成后级仪表能接受的信号，输出给其他系统，或由显示 对测量结果进行显示、记录。传感器是测量系统的的环节，对于控制系统来说，如果把计算机比作大脑，那么传感器就相当于五，直接影响到系统的控制精度。传感器一般由敏感元件、转换文件、转换电路组成。由敏感元件直接感受被测量，同时它自身的某一参数值变化与被测量值的变化有确定的关系，且这一参数容易测量输出；然后由转换元件将敏感元件的输出转换成电参数； 又转换电路将转换元件输出的电参数放大，转换成便于显示、记录、、控制的有用号。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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CAN信号质量评估的相关概念CAN节点是通过差分信号进行通信的，信号质量的评估对象为CAN差分信号的波形。信号质量评估即对差分信号波形的幅值、斜率及扰动等元素按照一定的规则进行综合评估，得到的质量评估结果，以百分比的形式呈现。信号质量评估参数图如所示：信号质量评估参数图无干扰电压范围无干扰电压范围是指待评估差分波形段中显性位电平的值和隐性位电平的值之间的差值。峰峰值峰峰值是指波形中值和值的差值。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试设备校正福建-认证单位单位时间内位移的增量就是速度。速度包括线速度和角速度，与之相对应的就有线速度传感器和角速度传感器，我们都统称为速度传感器。旋转式速度传感器的结构和特征旋转式速度传感器按形式分为接触式和非接触式两类。接触式旋转式速度传感器与运动物体直接接触，这类传感器的工作原理如所示。当运动物体与旋转式速度传感器接触时，摩擦力带动传感器的滚轮转动。装在滚轮上的转动脉冲传感器，发送出一连串的脉冲。每个脉冲代表着一定的距离值，从而就能测出线速度V。