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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

电子元器件的降额等级可以参考《 标准——元器件降额准则GJB/Z35-93》，一般可分成三个降额等级：Ⅰ级降额：I级降额是的降额，适用于设备故障将会危及安全，导致任务失败和造成严重经济损失的情况。Ⅱ级降额：工作应力减小对元器件可靠性增长有明显效益，适用于设备故障会使工作任务降级，或需支付不合理的维修费用。Ⅲ级降额：Ⅲ级降额是的降额，相对来说元器件成本也较低。适用于设备故障对工作任务的完成只有小的影响，或可迅速、经济地加以修复。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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物联网(IoT)已逐渐深入现代人的生活，分析师估计2015年年底的连线装置数量将达到50亿台，比2014年成长30%。到了2020，这个数量预估将达到400亿台，远远超过地球的人口数。IoT的核心是让万物相连成为可能的连线技术。而在2015年后以及未来，有哪些值得关注的新兴连线技术趋势？首先是透过两种新无线技术上网 0GHz频段的802.11ad。由于消费者串流的内容愈来愈多，因此稳定的无线网路连线就变得更加重要。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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电子器械产品是与人体生命密切相关的特殊产品，其人机界面设计比其它工业产品设计更具有特殊性，应该始终以人为中心进行设计。其人机界面设计主要考虑显示与控制部分是否合理，能否会产生误操作，操作是否方便易行，产品作用于人体时是否满足作用部分的生理需求等。房显示界面及其辅助器械的交互界面由于使用的器能力较低，设计理念比较滞后，导致使用者在使用屏幕进行交互操作时有一种迟滞的感觉，并且整体界面设计给人的感受比较呆板。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

量具校验宜宾-外校单位数字示波器采样、数据、把数据在屏幕上显示出来都是需要时间的。我们也可以这样理解，示波器会眨眼睛。它们会每秒睁眼睛多少次，来捕获信号，其间则会闭上眼睛去数据，把数据显示到屏幕上。数据和把数据在屏幕上显示出来这段时间称为死区时间。死区时间内示波器不采样数据，是探测不到信号发生的变化的，所以实际上不是所有波形我们都能在屏幕上看到，我们看到的波形其实是被死区时间分隔成一段一段的，因此就有了波形捕获率一说。