仪器外校衢州-检验报告

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3、传感器的仪器校准实验
(1) 仪器校准实验过程
传感器的校准实验是为了测试高温微压力传感器在不同温度环境下,尤其是在高温环境下能否保持较高的测量精度和重复性,进而根据实验数据对传感器进行仪器校准,使得传感器能够在温度变化的环境下保持较高的测量精度和测量重复性。
仪器校准实验按照校准原理可分为以下环节:①测试传感器在不同温度下的压力敏感性能;②测试传感器输出与环境温度之间的关系,并以此对传感器进行校准,对温度的影响作出补偿;③压力、温度复合加载试验,测试校准后的传感器能否满足实际的应用需求。
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如何发现泄漏不幸的是,主流的泄漏检测方法非常原始。一种古老的方法是听嘶嘶声,这在许多环境下几乎是不可能听到的;以及在疑似泄漏区域喷洒肥皂水,这种方法会导致现场混乱,容易导致人员滑倒。当前,查找压缩机泄漏的工具是超声波探测器——一种便携式装置,能够识别与空气泄漏相关的高频声音。普通的超声探测器有助于发现泄漏,但其使用非常耗费时间,维修人员通常只能在规划的停工时间使用,而该时间本来可用于维护其他关键机器。
如果不符合要求则需要重新校准,结果仍不理想则表明传感器自身存在缺陷,需要进一步优化设计。
由上述可知,传感器的校准需要大量的实验,受篇幅所限在此不多赘述,故这里只测试传感器在不同温度下的压力敏感性能,目的是验证该仪器校准实验系统是否达到期望的使用要求。
(2) 实验结果
调节载荷室温度至30℃,保持温度恒定的同时逐步增大压力,记录反射光波长,反复测量3次;提高载荷室腔内温度至250℃,重复上述实验。实验数据如表1所示。
经过计算,在30℃温度环境下,传感器非线性为1.77%,重复性为1.31%,综合精度为3.07%;而在250℃高温环境下,传感器非线性为3.05%,重复性为2.07,综合精度为5.12%。以上结果表明,温度升高对实验传感器的输出有较明显的影响,整体性能也有所降低。此外,通过此次仪器校准实验,很好地验证了该校准实验系统的使用性能,在实验过程中,载荷室内温度能长时间稳定在设定值±2℃的范围内,压力调节方便可靠,能较快地达到设定气压值,并稳定在设定值10.2Pa的范围内。
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半导体材料研究和器件测试通常要测量样本的电阻率和霍尔电压。半导体材料的电阻率主要取决于体掺杂,在器件中,电阻率会影响电容、串联电阻和阈值电压。霍尔电压测量用来推导半导体类型(n还是p)、自由载流子密度和迁移率。为确定半导体范德堡法电阻率和霍尔电压,进行电气测量时需要一个电流源和一个电压表。为自动进行测量,一般会使用一个可编程关,把电流源和电压表切换到样本的所有侧。A-SCS参数分析仪拥有4个源测量单元(SMUs)和4个前置放大器(用于高电阻测量),可以自动进行这些测量,而不需可编程关。
综上所述,该仪器校准实验系统使此次校准实验进行顺利,很好地满足了实际需求,达到了设计要求。
4、结束语
通过分析高温光纤微压力传感器的测量结构和仪器校准原理,设计了一套基于高低温试验装置和上位机人机软件的校准实验系统,在地面实验室模拟了传感器实际测压环境,实现了传感器在高温微小压力环境下的校准。实验结果表明,该仪器校准实验系统能很好地满足测试需求,是一个稳定可靠、安全便捷的测试,为下一步传感器的仪器校准工作了保障。

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