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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

有些测温场合，将热电偶电极直接焊于通电加热的金属件上，由于金属件在平行于电流方向的各点存在电位差，这时引入的干扰电压也是很大的。在高温状态下，耐火材料的绝缘电阻急剧下降，热电偶的保护管绝缘性能也会下降，则电源电压通过耐火砖、热电偶套管等泄漏到热电偶丝上，在热电偶电极与地之间产生干扰电压。大地中各个不同点之间往往存在电位差，特别是在大功率用电设备附近，当这些设备的绝缘性能下降时，电位差更大。而现场仪表在使用中，有时不注意会使回路存在两个以上的接地点，就会把不同接地点的电位差引入到数显表中而形成共模干扰。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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所以一定要保持一定的半径，使激光在纤芯里传输时，避免产生一些不必要的损耗。。野外接续盒一定要密封好，防止进水。熔接盒进水后，由于光纤及光纤熔接点长期浸泡在水中，可能会光纤测试光纤在架设，熔接完工后就是测试工作，使用的仪器主要是OTDR测试仪或光源光功率计，用加拿大EXFO公司的FTB-100B便携式中文彩色触摸屏OTDR测试仪( db),可以测试，光纤断点的位置；光纤链路的全程损耗；了解沿光纤长度的损耗分布；光纤接续点的接头损耗。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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在一般中，由于阻抗关系到天线的匹配，也就关系到天线的驻波，所以，通常把驻波调小，阻抗也就基本正确了。但是在专门天线时，为了明确调试的方向，提高调试的速度和精度，需要测试天线的阻抗。阻抗和驻波不同，通常说的驻波是标量参数，它与相位没有什么关系。而阻抗是矢量参数，它与相位有直接的关系。测阻抗其实就是测反射的相位，相位测量的准确度关系到阻抗的准确度。我们通常很难把天线的馈电点直接连接到仪器上，只能把仪器接在馈线的另一端。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器外校吉安-第三方公司寓言本身是比喻人的眼光未与客观世界的发展变化同步，不懂得根据实际情况问题。但如果将这个寓言结合我们的话题来看，设那艘船就是向前走一刻不停的时间，楚人用掉落时的电压和停船时的电流求电功率，那么结果可想而知会是多么的错误，大部分几百元的测试设备基本也是这种法。要想准确计算电功率，就必须保证电压、电流在同一时刻同时测量。致远电子推出的PA系列高精度功率分析仪，其中 关键的一点就是保证功率测量的准确，而功率的准确测量则必须保证电压电流的同步性。