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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

所述控制模块，还具体用于在第n个补偿周期中，根据第n-1个补偿周期存储的补偿余数、第n个补偿周期获取的补偿参数和RTC模块的补偿单位计算第n补偿周期的补偿校准值和补偿余数。优选地，所述控制模块，还具体用于在第n个补偿周期中，按照所述第n个补偿周期的补偿校准值对所述RTC模块的时钟频率进行校准，并存储所述第n个补偿周期的补偿余数。所述控制模块，具体用于用第n个补偿周期的补偿余数覆盖存储模块中存储的第n-1个补偿周期的补偿余数。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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棒材生产线现已转向自动化的生产，大直径棒材的测量在线测量，更能节省原材料，减少废品的生产，棒材测径仪的使用已是大势所趋，为棒材自动化生产的必不可少的设备。今天所说的大直径棒材测径仪是以三组测头实现外径尺寸的高精度测量，它能对φ8-φ35mm范围内的棒材进行实时测量，通过控制测量范围实现多规格的大型棒材生产。发射镜头和2个接收镜头分别在正反丝杠的直线导轨滑台的滑块上，滑块由伺服电机驱动带动正反滚珠丝杠驱动。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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而在白车身车间的那些在线测量工具，其检测与调整则常被认为是大工件，因为它们一般都会用到测量工具。大工件的常用测量手段从对大工件的初步定义来看，其测量手段应具有三种功能：具有足够的精度，即根据测量精度分配的原则和要求，以及现场实际测量情况，当在图纸规范的1/3～1/10；具有性，并能在多次（俗称转站、蛙跳等）情况下保证测量精度；具有坐标测量功能，即配备有几何数字测量软件功能，能进行采样测量、几何要素拟合、测量坐标和评定基准构建、尺寸计算和公定、几何公差计算和评定等。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器外校遵义-审厂 每一种测量模式是怎么计算的，如何应用，本文将进行详细说明。RMS（真有效值）真有效值简单而言即代表一交流电相当于多大数值的直流电在单位时间内所的功，真有效值为10V的交流电与10V的直流电对相同的负载在相同的时间下所的功相同。举个例子来说有一组100伏的电池组，每次供电10分钟之后停10分钟（模拟出交流信号），如果这组电池带动的是10Ω电阻，供电的10分钟内，产生的电流I=U/R=10A，功率P=U*I=1000W的功率，停电时电流和功率为零,那么在20分钟的其平均功率为500W。