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世通仪器关于高温微
压力传感器校准实的研究
在航天领域,常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量,其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下,并且待测压力微小,此外还要求小型化、低功耗,故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。
了解如何实现控制器所需的功能,以及新功能将如何设计,可以帮助企业提升效率。1数据功能具有 标记名称编程的现代控制器通常各种数据功能,包括内置数据记录。某些 控制器,还可以与企业级系统中的标准数据库交互,企业资源规划。将数据直接记录入连接到控制器的USB存储设备是一个重要功能,并且通常是许多应用中的要求。具有数据记录器功能的控制器,通常支持格式化的USB笔式
驱动器或迷你SD卡,每个存储空间都高达32GB。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等,因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*,且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段,使其能够适应高温环境,即能*终满足测试的要求。
高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理,使用耐高温材料外壳和支撑架,部件连接采用固体焊接等耐高温工艺,实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量,并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施,提高了抗冲击、振动能力。
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微型化
传感器的微型化值在功能不变甚至增强的条件下,大幅度减小传感器的体积。微型化是现代精密测量与控制的要求,原则上将,传感器的尺寸越小对被测对象及环境的影响越小,对能量的消耗越少,越易实现测量。成化传感器的集成化指下面两个方向的集成:多测量参数的集成,即可测量多种参数。传感去与后续电路的集成,即将
敏感元件、转换元件、转换电路乃至
电源等集成在同一块芯片上,使其具有很高的性能。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境,我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统,通过高低温真空试验装置和人机软件的结合,为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。
1、传感器测量原理
(1) 微压力测量原理
高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理,根据Fabry-Perot共振效应,F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示,为传感器原理示意图,感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理,压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变,从而改变F-P腔腔长,引起干涉谱变化,通过测量干涉光谱,即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化,从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高,可感受两个镜面之间纳米级的位移变化,可满足500 Pa微小压力的测量需要。
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然后再使用另一条1m电缆从
配线架连接到探头,所以从一个SMU到DUT的三芯
同轴电缆的总长度是:(2x2m)+(2x5m)+(1m)=15m。除了三芯同轴电缆外,关
矩阵本身也增加了电容,在计算测试系统总电容时可能需要包括进去。在测量通过关矩阵连接的FET器件的输出特点时,使用两个4211-SMU较使用两个传统SMU的结果明显改善。在这项测试中,其中一个SMU被偏置恒定栅极电压,另一个SMU扫描漏极电压,测量得到的漏极电流。
(2) 传感器的仪器校准原理
在传感器探头确定的情况下,参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得,而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。
将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境,通过标准具得到压力、温度的标准量,通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线,再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线,用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系,从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较,可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。
轻工实验室上饶-校验公司testo89红外热成像仪因其高热灵敏度、高分辨率、德图专利的湿度成像功能,顺利完成检测任务。解决方案德图 来到洞窟后,对现场评估。洞内的石像在古代依山凿而成,历经朝代更迭,石像表面进行了泥塑彩绘并以这样的姿态流传现今。此次,针对此类石窟石像,有三个检测目标:发现裂纹检测佛像表面的泥塑裂纹,使得文物修复 尽早发现并着手修复。当泥塑的裂纹扩大到肉眼可见甚至始脱落时,石像的修复难度就越大。佛像均有十几米高,近距离检查佛像本体十分不便。