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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

测试测量仪器仪表产品怎么选？本文将介绍激光测距仪的选购方法。什么是激光测距仪？激光测距仪是利用调制激光的某个参数对目标的距离进行准确测定的仪器。脉冲式激光测距仪是在工作时向目标射出一束或一序列短暂的脉冲激光束，由光电元件接收目标反射的激光束，计时器测定激光束从发射到接收的时间，计算出从测距仪到目标的距离。当发射的激光束功率足够时，测程可达4公里左右甚至更远，激光测距仪可昼夜作业，但空间中有对激光吸收率较高的物质时，其测距的距离和精度会下降。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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“手拉手”式连接但是在绝大多数的工业现场、轨道机车中，由于整体线缆非常多，均需要使用接线排，以方便维护。所以会采用“T”型分支式连接。“T”型连接“T”型连接分支约束T型接线方式会存在由于分支长度以及分支长度的积累造成阻抗的不连续，因而接头处产生信号“反射”的现象。反射的信号量由瞬态阻抗的变化量决定，变化量越大，反射就越严重。分支处产生的是负相反射，引起信号电平下冲，这种下冲可能会超过噪声容限，造成误触发。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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由于并行任务调度规划并不是固定的，在测试运行之前，软件无法确定测试任务的执行次序，从而也就无法确定测试通道的打通次序。那么，只能在测试任务运行时，根据UUT端口和被测参数来动态建立信号链路，并打通相应的通道。并行测试解决思路并行测试技术是对传统串行测试技术的突破和超越，思维方式与解决途径都发生了较大的变革，在大幅度提高测试效率的同时也带来了较多的挑战，下面逐一介绍解决思路。测试资源竞争和死锁问题解决思路概括起来讲，测试资源竞争问题解决思路就是八个字“用时申请，用后归还”。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试设备校验泸州-检测公司将接头组件与检测器相接后将其拧紧，并且要保证有尾气流。其次操作人员需要向检测器注射溶剂，在注射完毕之后，需要将热导池的温度持续的加热。操作人员需要注意的是：热导池的温度加热到比平时的温度高出二十摄氏度到三十摄氏度； 等到检测器的温度降到平时的温度时，将其进行即可。第二种：氢火焰离子化检测器的清洗。这种检测器的清洗需要从两个方面来看：个，如果检测器不是太脏的情况下，可以不用将检测器拆下来进行清洗。