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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

总线越长、经过的环境越复杂越容易出现通信问题。外部环境中复杂多变的电磁场会间接抬高总线的电势，静电、浪涌、短路等会直接作用到通信线上。以上情况的出现，轻则导致收发器损坏，重则造成主板故障。与总线连接前加入隔离是十分必要的。如何隔离?隔离的方法及原理与I/O隔离相似，不同的是通信隔离需要考虑到隔离器件对通信信号的影响，不当的隔离往往导致通信中断或通信不畅。对收发器来说，隔离可以从两方面入手，通信隔离和供电隔离。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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智能分析技术让监控设备具备自主感知、图像识别、深度学习能力，将安防监控的事后 延伸到事前预、事中快速处置、事后海量数据的证据链的检索等，从而极大程度提升监控的效率。在红外摄像机上加入智能分析功能，限度的解放了人力，目前它不仅实现对事件结果的分析和融合应用，还可以形成对事件内在发展规律的结果输出，辅助科学决策，快速解决实际的问题。为了将热成像与人工智能进行结合，扩充热成像技术的延展性，FLIR将其世界的长波红外(LWIR)技术和Movidius行业的视觉单元(VPU)集成到一个热成像内核中，使其能够在低功耗下进行先进的图像，为其热成像产品带来人工智能。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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加热器组件可在血液和透析液重新输入到患者体内之前，将其加热到人体的温度。而这一过程中，加热控制器能够 控制透析液的温度；电路板型压力传感器则能测量流体离和进入患者体内的流速，在不妨碍流体流动的前提下，获得透析液和静脉压力读数。为了实现温度传感器与温度调节装置结合使用，加热器组件在设计时需要考虑到适合不同透析设备设计需求的多种加热技术和材料。这些透析机的设计常常因对加热器组件不同尺寸和不同温度范围的要求，需要考虑不同类型的加热技术。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

轻工实验室徐州-第三方公司 早毫米波雷达是24GHz的窄带毫米波雷达，带宽通常不到2MHZ，精度只有75厘米，目标分离能力只有1.5米，显然这太低了，即便作为盲点检测也有点低了。这之后出现了超宽带24GHz毫米波雷达，带宽达7GHz，精度可达2.2厘米。GHz硅基毫米波雷达技术正在实现新一代现实世界，越来越多地用于汽车、无人机、泛工业和消费类应用等大众市场应用的非接触式智能传感器。ADI的新型24GHz雷达产品出色的性能和高集成度，是小尺寸、低成本且易用的超低功耗解决方案，适用于物理检测、跟踪、安全控制和防撞告系统等应用。