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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

此外，一些重点场所也始布置毫米波人体安检仪，如大使馆、机关、大型会场和体育场馆等。在前两代产品获得巨大成功的基础上，罗德与施瓦茨推出的RSQPS201快速人体安检仪，进一步优化了硬件设计、检测算法、时间、安检通道设计等等多种要素，提升了安检仪的精度、效率、可靠性，契合 各地机场的多样化需求。目前已经通过上述三大机构的认证许可，并在各大机场大量投入使用，以其高扫描速度，高分辨率和高检出率广受客户的好评。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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工业生产中经常需要用到位移传感器，位移传感器又称为线性传感器，是一种属于金属感应的线性器件，位移传感器的作用是把各种被测物理量转换为电量，根据位移量的大小输出大小不同的号，然后能判断位移量的大小，并且位移传感器的应用范围相当广泛，常用在工业自动化或者建筑桥梁等方面。那么位移传感器的应用领域具体有哪些呢?激光位移传感器的应用激光传感器常用于长度、距离、振动、速度、方位等物理量的测量，还可用于探伤和大气污染物的监测等。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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当选择一个可从单电源产生多输出的系统拓扑时，反激式电源是一个明智的选择。由于每个变压器绕组上的电压与该绕组中的匝数成比例，因此可以通过匝数来轻松设置每个输出电压。在理想情况下，如果调节其中一个输出电压，则所有其他输出将按照匝数进行缩放，并保持稳定。然而，在现实情况中，寄生元件会共同降低未调节输出的负载调整。在本电源小贴士中，我们将进一步探讨寄生电感的影响，以及如何使用同步整流代替二极管来大幅提高反激式电源的交叉调整率。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

仪器外校铜仁-认证中心本文针对IEC61850标准体系的特点，通过对于智能变电站测试技术特征的研究，提出“非侵入式”测试的技术思路：即现场不变更接线，不改变保护整定值设置，完成继电保护系统运维测试。这样，可极大地提升智能变电站运维测试的便利性和效率，并可实现保护系统测试的全生命周期管理。智能变电站技术特征网络化信息共享基于IEC61850架构体系的智能变电站二次系统呈现为网络化信息共享的特征，信号之间的传递媒介由光缆代替了电缆，以往常规综自系统IED装置基于端子二次联接关系，演变为基于GOOSE数据包的虚端子/虚回路对应关系，见下图。