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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

无论是实验室环境还是生产车间，都需要采用更的半导体测试方法。半导体测试是NI的战略重点。我们正在扩展我们的软件和PXI功能，以帮助芯片商应对他们面临的挑战，这一点通过NI的PXISMU可以完全体现出来。”由于其高吞吐量、高性价比和占地面积小，NI的半导体测试系统(STS)正在快速应用到芯片生产中。全新的PXIe-4163SMU则进一步增强了这些功能，它能更高的直流通道密度，使多站点应用具有更高的并行性，以及在生产中实验室级别的测量质量。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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智能电磁流量计的变送器结构简单，没有可动部件，也没有任何阻碍流体流动的节流部件，所以当流体通过时不会引起任何附加的压力损失，同时它不会引起诸如磨损，堵塞等问题，特别适用于测量带有固体颗粒的矿浆，污水等液固两相流体，以及各种粘性较大的浆液等.同样，由于它结构上无运动部件，故可通过附上耐腐蚀绝缘衬里和选择耐腐材料制成电极，起到很好的耐腐蚀性能，使之可用于各种腐蚀性介质的测量.智能电磁流量计怎么选择，选哪一种，怎么，如何正确，故障现象如何？在选择应用中会有很多问题发生，所以一定要正确对特仪表选型和。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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而MEMS麦克风在器件级完成了模数转换，这意味着，即使声级计可能具有符合某个标准所需的性能，也无法使用该标准规定的方法对其进行测试。：无线声级计数据记录器由于MEMS麦克风硅结构的尺寸非常小，即便是微小的灰尘颗粒也很容易进入麦克风腔体进而损坏它们。极高的静态和动态压力（通常高于16dB-SPL）也会对这些小型硅结构造成损坏。MEMS麦克风通常在1kHz至2kHz范围内具有尖锐的谐振。需要对此谐振进行校正，以使声级计的频率响应落在适当标准的限制线之内。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

量器具校验清远-报价多少同时集成高精度功率计，实现高达99次的谐波分析与实时的电气测试测量；配备GUI监控软件，可对交流电源进行实时监控，并多元的简捷操作体验。高性能可编程交流电源适用于电子产品研发、认证、生产检验等阶段的测试，集成完善的保护功能（OVP/OCP/OPP/OTP等），可轻松应对复杂的测试应用。PSA系列高性能可编程交流电源特色：输出交流电压范围：~15/~3Vr 出频率范围：1~2Hz；交流输出功率：2~21KVA；测试精度，可达.2%；高功率密度设计，4U/6KW/3-phase；输出模式：ADAC+DC；W交流电源自由切换单相或三相模式；可调初始/结束相位角、电压变化率；集成List、Step、线路等功能，实现电压波动输出；集成高精度功率计，可实时量测如电压、电流、 电压波动测试（专业版）；谐波、宽基波频率，高达5阶谐波， 模拟失真电网（专业版）；强大谐波分析功能，高达99阶谐波成分分析；USB接口支持导入导出，包括系统参数、波形库、编程波形参数；内置多种类型波形数据，可快捷调用（专业版）；支持多机并联输出，可实现大功率单相或三相交流电源；标配RS-232/USB/Ethernet等通讯接口；交流电源标准版与专业版，满足多种应用场景的需求。