测试仪表校正西安-认证公司

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

并且数据采集分析软件完成在线信号分析，生成循环数据的统计，并在试验结束后生成测试分析报告。制动噪声测试系统的组成：每个车轮位置需要热电偶、加速度传感器、压力传感器，车内放置制动触发器、踏板力计、麦克风、减速度计、GPS、数据采集及分析系统。制动噪声测试系统中的主要组成部分——数据采集系统，是采用德维创数据采集系统来完成的。德维创数据采集系统的特点：1.ns级别的通道间同步；2.高精度（0.05%）；3.高隔离（通道与通道间隔离）；4.硬件滤波；5.系统坚固、小巧、抗振、防电磁，抗振、抗冲击指标高于美标MIL-STD-810F标准等等。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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而在与航位推算所需的机载传感器中，由加速度传感器和陀螺仪传感器组成的运动传感器尤为重要。由于弯道、坡度和车道变化等因素的影响，车辆行进方向和朝向也会不时发生变化；加速度传感器和陀螺仪传感器可以检测到这些车辆行进方向和朝向的变化。对此，目前，很多传感器厂商都会选择利用MEMS技术，将三轴加速度传感器与三轴陀螺仪传感器封装在一起，组成六轴惯性运动传感器，进行的航位推算，以较高精度测量及维护车辆位置，甚至协助在GNSS信号范围外及信号中断时进行自动驾驶，从而支持自动驾驶车辆的高精度惯性。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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电子控制 系统的空气流量传感器有多种型式，常见的空气流量传感器按其结构型式可分为叶片（翼板）式、量芯式、热线式、热膜式、卡门涡旋式等几种。结构原理在电子控制燃油装置上，测定发动机所吸进的空气量的传感器，即空气流量传感器是决定系统控制精度的重要部件之一。当规定发动机所吸进的空气、混合气的空燃比（A/F）的控制精度为±1.0时，系统的允许误差为±6[%]~7[%]，将此允许误差分配至系统的各构成部件上时，空气流量传感器所允许的误差为±2[%]~3[%]。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试仪表校正西安-认证公司读数仅取决于电阻，实际上与测试引线电阻无关。四线测量可产生非常准确，可重复和稳定的电阻测量值，特别适合于低值测量，甚至低至1兆欧。由于输入阻抗和电压表的泄漏电流可能会影响读数，因此它不太适合高阻值的测量。六线测量如果要测量的电阻与其他电阻并联，则使用六线测量。这是在ATE系统中要在PCB上就地测量电阻的常见问题。该技术通过在用户定义的节点上保持保护电压来隔离被测电阻，该保护电压由来自V+端子的电压缓冲器驱动。