测试仪表校正怀化-审厂

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世通仪器关于高温微压力传感器校准实的研究

在航天领域，常常需要在恶劣环境下实时测量环境的各种相关参量，其中就包括微小压力测量。由于测试工作处于高温、高热流、强电磁干扰、剧烈振动等恶劣的条件下，并且待测压力微小，此外还要求小型化、低功耗，故而传统的硅微压力传感器已难以满足测试需求。

工业智能化给、生产带来了巨大的改变，物联网已经在不断地走进工业生产。工业生产数据实时采集（如MES系统）算是典型，而在工业生产信息网络中，zigbee当之无愧成为了主角。采用zigbee搭建的生产信息化管理网络工厂执行系统MES是近10年来在上迅速发展、面向车间层的生产管理技术与实时信息系统。MES系统是一套面向企业车间执行层 基础的生产信息化管理系统，可以为企业包括数据管理、计划排程管理、生产调度管理、库存管理、质量管理、工具工装管理、采购管理、底层数据集成分析、上层数据集成等等管理模块。
相比之下光纤压力传感器有着无可比拟的优势:测量精度高、抗电磁干扰能力良好、绝缘性能好、性能稳定等，因此光纤压力传感器*接近测试需求。F-P光纤压力传感器更是以极高的测量灵敏度和精度、成熟的微压测量技术成为*，且只需在探头结构上辅以耐高温技术手段，使其能够适应高温环境，即能*终满足测试的要求。

高温微压力传感器基于F-P干涉敏感原理，使用耐高温材料外壳和支撑架，部件连接采用固体焊接等耐高温工艺，实现了在无引压管情况下对800℃高温介质微小压力的直接测量，并且通过对性敏感组件等易损件采取专门的限位、加固措施，提高了抗冲击、振动能力。
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检测机构作为质检战线的排头，其检验结果是人们衡量产品质量的重要标准，随着社会经济的发展，检验结果科学性、公正性、准确性的社会影响力越来越大，有些检验机构的检验结果已被经济组织认可，在我国对外经济贸易中发挥了重要作用，加强对检测机构自身的风险防范工作就显得尤为重要。检测过程的风险是检验全过程风险中的主要风险之一，检测过程的风险主要存在于以下几个方面：超能力范围检验按照《计量法》规定，对社会出具具有证明作用的数据实验室必须经过实验室 认定(计量认证)和/或CNAS认可，而 认定和/或CNAS认可是限定实验室能力范围的，实验室只能在能力范围限定的产品(参数)范围内出具带相应标识的检验报告，检验使用的标准不在能力范围者，我们称之为超范围检验。
为了在地面实验室模拟传感器的实际测量环境，我们设计了一种适用于高温微压力传感器的仪器校准实验系统，通过高低温真空试验装置和人机软件的结合，为仪器校准了一个稳定可靠、安全便捷的实验。

1、传感器测量原理

(1) 微压力测量原理

高温微压力传感器采用的是F-P干涉敏感原理，根据Fabry-Perot共振效应，F-P共振腔反射光的波长变化与两反射面之间的距离呈函数关系。如图1所示，为传感器原理示意图，感压反射面及其支撑膜片和静止反射面就构成了一个完整的F-P共振式压力敏感结构。根据薄膜性形变原理，压力敏感膜片在外界压力的作用下发生形变，从而改变F-P腔腔长，引起干涉谱变化，通过测量干涉光谱，即可得到作用在压力敏感膜上的压力变化，从而达到测量压力的目的。该结构的特点是灵敏度极高，可感受两个镜面之间纳米级的位移变化，可满足500 Pa微小压力的测量需要。

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经过几年的进化，新一代毫米波人体安检的方向已经更加明朗。早期有些产品用少量的射频单元，机械方式扫描。新一代产品则使用固定方式进行测试。得益于工艺进步和计算机运算的飞速发展，仪器内也大量引入新的信号技术，人工智能算法等。这些方向保证了系统更加稳定，识别能力更强。图1RSQPS201毫米波快速人体安检仪近一两年，新仪器的普及进入了快速发展期，世界多个主要城市机场陆续大量启用了新一代毫米波人体安检仪，包括美国、英国、德国、法国、澳大利亚机场等，从今年启动并估计在未来几年里会大量启用毫米波人体安检仪。

(2) 传感器的仪器校准原理

在传感器探头确定的情况下，参数k1,k的值可以通过公式直接计算求得，而温度敏感系数k2以及补偿修正常数C则需要通过校准实验才能确定。

将被校传感器与压力、温度标准具置于同一载荷环境，通过标准具得到压力、温度的标准量，通过解调模块得到传感器的输出值。将标准输人量与被校传感器的输出值绘制成传感器的校准曲线，再根据校准数据采用*小二乘法确定传感器的工作直线，用工作直线反映传感器的输人和输出之间的关系，从而确定k2及C的取值。通过校准曲线与工作直线的比较，可以计算得到被校传感器的静态基本性能指标。

测试仪表校正怀化-审厂 一般气体分析仪只能单一成份地逐个进行检测分析，不具备多重输入和信号功能，分析费时，操作烦琐，响应速度慢，效率低，难以实时地分析生产工况。现逐渐被全自动分析仪器替代。色谱分析法是通过一次进样利用色谱柱使烟气中的所有组分——氧气、氮气、 、二氧化碳分离通过检测器和记录器测定并记录整个分析过程，然后用面积归一化计算出各组分的含量。色谱法分离效能高、样品用量少、可进行多组分分析、分析精度高和标定周期长。